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Bi2O3, Na2 O3, Ba2O5, TiO2, Ca2CO3, MnO를 포함하는 원료을 마련하는 단계; 상기 원료을 볼 밀링하여 제1분말을 형성하는 단계; 상기 제1분말을 건조 후, 열처리온도 700℃ 내지 1000℃에서 상기 제1분말을 하소하여 제2분말을 형성하는 단계; 상기 제2분말을 성형하여 성형체를 형성하는 단계; 및 상기 성형체를 소결온도 1000℃ 내지 1300℃에서 2℃/min 내지 4℃/min의 승온속도로 온도를 상승시켜 압전소자를 형성하는 단계를 포함하는 압전소자 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1분말을 건조 후에 상기 건조된 제1분말을 100메시의 시브로 체거름하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 볼 밀링하는 단계는 상기 원료를 휘발성 용매를 혼합하여 습식으로 볼링공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1분말을 하소하는 단계에 있어서, 상기 열처리온도는 850℃인 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제2분말은 상기 성형체를 형성하기 전에 볼 밀링을 반복적으로 더 실시하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
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6
제 1항에 있어서,상기 제2분말의 성형공정을 실시하기 전에 상기 제2분말은 유기물질인 바인더를 혼합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
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7
제 6항에 있어서, 상기 바인더는 PVB(polyvinyl butyral-co-vinyl 1 wt
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8
제 1항에 있어서, 상기 성형공정은 소정의 직경을 갖는 몰드를 마련하는 단계; 상기 몰드에 제2분말을 넣는 단계;상기 몰드를 프레스장치에 안착시키는 단계; 및상기 몰드에 100MPa압력을 제공하여 상기 성형체를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
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9
제 1항에 있어서, 상기 소결온도는 1170℃인 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
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10
(Bi0
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제 10항의 압전재료 조성물로 형성되며, 화학식 (Bi0
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13
삭제
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14
제 12항에 있어서, 상기 첨가제인 CaO/MnO는 0
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15
제 12항에 있어서, 상기 첨가제인 CaO/MnO는 0
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