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평면 스테이지의 이동량을 측정하는 장치에 있어서,상기 평면 스테이지를 장착하기 위한 베이스;상기 베이스의 상부에서 상기 평면 스테이지와 연동하여 구동하며, 사면 가공된 적어도 하나의 평판; 및상기 베이스와 상기 평판 사이의 공극량을 측정하기 위한 적어도 하나의 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 스테이지의 이동량 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 공극량 및 상기 평판의 기하학적 구조에 관한 정보를 이용하여 상기 평면 스테이지의 이동량을 계산하기 위한 알고리즘을 구비하며, 상기 이동량에 대응하는 피드백 신호를 생성하는 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 스테이지의 이동량 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 센서는 측정 대상인 3개의 평판에 대해 3개가 할당되어 각각의 공극량을 측정함으로써 상기 평면 스테이지의 면내 위치에 관한 3축 정보를 얻는 것을 특징으로 하는 평면 스테이지의 이동량 측정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 각 평판은 사각형이며, 상기 기하학적 구조에 관한 정보는 상기 각 평판의 기울기, 상기 각 평판의 각 모서리의 높이, 상기 각 평판의 각 변의 길이 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 스테이지의 이동량 측정 장치
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제 4 항에 있어서,상기 각 평판 표면을 일정한 반복 패턴으로 가공되어 있으며, 상기 센서 및 상기 제어기는 상기 평판 표면의 굴곡 변화량을 측정하여 상기 이동량 정보로 변환시키는 것을 특징으로 하는 평면 스테이지의 이동량 측정 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 각 평판의 사면은 서로 다른 기울기로 이루어진 것을 특징으로 하는 평면 스테이지의 이동량 측정 장치
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 평면 스테이지의 이동량 측정 장치를 이용하여, 상기 공극량 및 상기 평판의 기하학적 구조에 관한 정보를 이용하여 상기 평면 스테이지의 이동량을 계산하는 방법
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제 7 항에 있어서,상기 3개의 평판의 모서리의 최대 높이를 s라 하고, 가운데 평판의 나머지 모서리의 높이를 p, q라 하고, 상기 각 평판의 각 변의 길이를 m이라 하고, 상기 각 평판과 상기 베이스 사이의 공극량을 각각 g1, g2, g3라 하고, 상기 평판의 3개 축 방향 변위를 x, y, θ라 하면, 상기 평면 스테이지의 이동량은 아래의 식으로 계산되는 특징으로 하는 방법
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