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맥파를 측정하고자 하는 위치의 피부에 접촉되는 자성체로 형성된 피부접촉부와, 상기 피부접촉부 상부에 일정거리 이격하여 2 이상의 자성 박막층을 단위 셀로 형성된 어레이 형태의 맥파감지센서부와, 상기 피부접촉부와 상기 맥파감지센서부 사이에 소정의 공간을 이루는 이격공간부를 포함하여 구성된 맥진센서에 있어서,상기 맥파감지센서부의 상기 자성 박막층은, 자유층/비자성층/고정층/반강자성층을 포함하여 구성되되,상기 자유층 및 상기 고정층은 각각 "Pd층/제1강자성층" 또는 "제1강자성층/Pd층"이 2번 이상 N번 반복하여 증착되고, 상기 제1강자성층은 상기 Pd층 면상에 수직으로 자화된 것을 특징으로 하는 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서
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제 1 항에 있어서,상기 자유층은 소정의 기판상에 형성된 버퍼층과 상기 비자성층 사이에 형성되고, 상기 버퍼층 상부에 상기 자유층을 이루는 N개의 "Pd층/제1강자성층"이 형성되고, 상기 제1강자성층과 상기 비자성층 사이에 Pd층 및 수직으로 자화된 제2강자성층이 순차적으로 더 증착되어 형성되고,상기 비자성층은 상기 제2강자성층 상부에 증착되며,상기 고정층은 상기 비자성층과 상기 고정층을 이루는 N개의 "Pd층/제1강자성층" 사이에 수직으로 자화된 제2강자성층이 더 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서
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제 1 항에 있어서,상기 반강자성층은 소정의 기판상에 형성된 버퍼층과 상기 고정층 사이에 형성되고, 상기 고정층은 상기 반강자성층 상부에 상기 고정층을 이루는 N개의 "제1강자성층/Pd층"이 형성되고, 상기 Pd층 상부에 수직으로 자화된 제2강자성층이 더 증착되어 형성되고,상기 비자성층은 상기 제2강자성층 상부에 증착되며,상기 자유층은 상기 비자성층과 상기 자유층을 이루는 N개의 "제1강자성층/Pd층" 사이에 수직으로 자화된 제2강자성층 및 Pd층이 순차적으로 더 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 Pd층은 0
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제 4 항에 있어서,상기 제1강자성층은 Co층이고, 상기 제2강자성층은 Co층 또는 CoFe 합금층인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서
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제 5 항에 있어서,상기 제2강자성층의 CoFe 합금층은 Co와 Fe의 중량비가 5:5 내지 9:1인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서
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제 6 항에 있어서,상기 기판은 Si, SiO2 및 유리 중에서 선택된 어느 하나이고,상기 버퍼층은 Ta층인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서
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8
제 7 항에 있어서,상기 비자성층은 Cu층 또는 Al2O3층인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성 스핀밸브 자기저항소자를 이용한 맥진센서
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제 8 항에 있어서,상기 자유층은 [Pd(0
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제 9 항에 있어서,상기 제2강자성층은 Co(0
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