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맥파 측정을 위한 맥진 센서에 있어서,상기 맥파를 측정하고자 하는 위치의 피부에 접촉되는 자성체로 형성된 피부접촉부와;상기 피부접촉부 상부에 일정거리 이격하여 2 이상의 자성 박막층을 단위 셀로 형성된 어레이 형태의 맥파감지센서부와;상기 피부접촉부와 상기 맥파감지센서부 사이에 소정의 공간을 이루는 이격공간부를 포함하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 1 항에 있어서,상기 피부접촉부의 자성체는 자성 나노 비드(bead) 형태의 나노 자성입자인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 2 항에 있어서,상기 피부접촉부의 나노 자성입자는 Co, Fe3O4 및 Fe2O3 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 1 항에 있어서,상기 피부접촉부의 자성체는 초박형 자성체인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 4 항에 있어서,상기 피부접촉부의 초박형 자성체는 리본형 자성 패드인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 5 항에 있어서,상기 피부접촉부의 리본형 자성 패드는 3 mm 떨어진 곳에서 200 ~ 300 Oe의 자계 세기를 갖는 플라스틱 자석인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 맥파감지센서부 어레이의 단위 셀은 GMR 소자 또는 MTJ 소자인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 7 항에 있어서,상기 GMR 소자는 Cu층을 비자성층으로 사이에 두고 상기 피부접촉부를 향하는 하부층은 가변강자성층을, 반대편 상부층은 고정강자성층인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 8 항에 있어서,상기 가변강자성층 및/또는 고정강자성층은 서로 다른 2 이상의 박막층으로 형성된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 9 항에 있어서,상기 가변강자성층은 상기 비자성층의 일단과 접하여 CoFe층과 NiFe층이 순차적으로 형성되어 있고, 상기 고정강자성층은 상기 비자성층의 다른 일단과 접하여 CoFe층과 IrMn층이 순차적으로 형성된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 10 항에 있어서,상기 Cu층은 2
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제 7 항에 있어서,상기 맥파감지센서부 어레이는 상기 단위 셀 30개 내지 54개를 "촌", "관", "척" 부위에 대응되도록 3부분으로 나누어 패키지화된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 12 항에 있어서,상기 맥파감지센서부의 단위 셀 크기는 1
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제 7 항에 있어서,상기 맥파감지센서부 어레이는 하나의 웨이퍼에 스위칭 소자와 함께 M x N 단위 셀을 하나의 패키지로 만든 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 7 항에 있어서,상기 이격공간부는 일정 압력을 유지하는 정압 체임버인 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 15 항에 있어서,상기 정압 체임버는 상기 피부접촉부와 상기 맥파감지센서부 사이의 이격거리를 1 ~ 3 mm로 유지하는 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 16 항에 있어서,상기 정압 체임버는 압력 조절 장치가 부착된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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제 17 항에 있어서,상기 피부접촉부는 상기 자성체와 별도로 압력센서가 더 부착된 것을 특징으로 하는 자성박막을 이용한 맥진 센서
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