| 1 |
1
적어도 하나의 조사용 레이저 빔을 이용하여 물체의 표면에 초음파를 발생시키는 초음파 유도 모듈;상기 초음파가 전파되는 상기 물체의 표면에 측정용 레이저 빔을 조사하고 일정 간섭계를 이용하여 상기 물체 표면의 초음파를 측정하여 초음파 신호 정보들을 추출하는 초음파 신호 검출 모듈;빔 분할기를 이용하여 상기 물체 표면에 일정한 간격으로 조사되는 상기 조사용 레이저 빔의 영상을 복수개로 분할하고 복수개의 분할 영상들을 획득하는 영상 획득 장치를 포함하고, 상기 조사용 레이저 빔으로부터의 상기 복수개의 분할 영상들 중 어느 하나의 영상으로부터 중심선을 추출하고 수집하여 표면 결함의 3차원 형상 정보를 추출하는 결함 형상 추출 모듈; 및상기 초음파 신호 검출 모듈에서 추출된 상기 초음파 신호 정보들을 기반으로 결함의 위치 정보 및 깊이 정보를 획득하고, 상기 결함 형상 추출 모듈에서 추출된 상기 결함 형상 정보를 기반으로 결함의 외부 형상 및 결함의 바닥부 형상을 획득하는 제어/신호처리 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 결함 형상 추출 모듈은,상기 조사용 레이저 빔에 의해 남아 있는 물체 표면의 자국 영상을 상기 복수개의 분할 영상들을 기반으로 획득한 후 자국의 중심선을 추출하고 수집하여 표면 결함의 3차원 형상 정보를 추출하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 결함 형상 추출 모듈은,상기 조사용 레이저 빔의 영상의 강도를 조절하는 감쇠 필터;상기 조사용 레이저 빔의 영상의 일정 색상 대역을 필터링하여 노이즈를 제거하는 색 필터; 및상기 감쇠 필터 또는 상기 색 필터에서 처리되는 상기 조사용 레이저 빔의 영상들을 저장하는 영상 저장 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 결함 형상 추출 모듈은,상기 조사용 레이저 빔의 영상을 전기적 신호로 변화시키는 센서; 및상기 조사용 레이저 빔의 조사 시간과 상기 센서의 획득 시간의 동기를 일치시키는 시간 지연 동기 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 결함 형상 추출 모듈은,상기 빔 분할기를 이용하여 상기 물체 표면에 조사되는 상기 조사용 레이저 빔으로부터 획득된 복수개의 분할 영상들로부터 상기 조사용 레이저 빔이 조사된 후의 상기 물체 표면에 발생하는 자국 영상을 얻는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
|
| 8 |
8
제1항에 있어서, 상기 결함 형상 추출 모듈은,상기 조사용 레이저 빔이 조사되고 난 이후에, 다음 조사용 레이저 빔이 조사되기 전에, 물체 표면의 자국 영상을 얻는 복수의 영상획득 센서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 제어/신호 처리 컴퓨터는,추출된 초음파 신호의 진폭 또는 중심 주파수가 일정값 이상 상승하는 최대값으로부터 하강하는 하강부의 일정 지점을 상기 결함 위치의 시작점으로 판단하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,상기 결함 형상 추출 모듈은 조명 장치를 이용하여 영상을 보다 선명하게 추출하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
|
| 11 |
11
물체의 표면에 적어도 하나의 조사용 레이저 빔을 이용하여 초음파를 발생시키는 단계;상기 초음파가 전파되는 상기 물체의 표면에 측정용 레이저 빔을 조사하여 초음파 신호를 측정하고, 상기 측정된 초음파 신호들로부터 결함의 위치 정보 및 깊이 정보를 획득하는 단계; 및상기 적어도 하나의 조사용 레이저 빔의 영상을 촬영하여 상기 촬영된 조사용 레이저 빔의 중심선을 기반으로 결함 형상 정보를 추출하고, 상기 결함 형상 정보로부터 결함의 외부 형상 및 결함의 바닥부 형상을 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 방법
|
| 12 |
12
제11항의 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록매체
|
