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적어도 하나의 조사용 레이저 빔을 이용하여 물체 표면에 초음파를 발생시키는 초음파 유도 모듈;상기 초음파가 전파되는 상기 물체 표면에 측정용 레이저 빔을 조사하고 일정 간섭계를 이용하여 상기 물체 표면의 초음파를 측정하여 초음파 신호 정보들을 추출하는 초음파 신호 검출 모듈;상기 추출된 초음파 신호 정보들로부터 정규화된 스펙트럼을 추출하고, 상기 추출된 정규화된 스펙트럼으로부터 상기 초음파 신호 정보들의 중심 주파수값을 추출하는 결함 깊이 추출 모듈; 및상기 추출된 초음파 신호 정보들과 연관하여 계산되는 전달함수를 이용한 결함 통과 전후의 (1) 고주파 성분값의 이동량, 및 상기 추출된 (2) 중심 주파수값의 이동량을 기반으로 결함의 깊이 정보를 추출하는 신호 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 신호 처리부는,상기 추출된 초음파 신호 정보들로부터 결함의 형상을 나타내는 전달함수를 계산하는 필터 형상 추출부; 및상기 전달함수가 나타내는 결함의 형상 정보로부터 결함 통과 전후의 고주파 성분값의 이동량을 계산하는 주파수 감쇠량 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
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제3항에 있어서,상기 주파수 감쇠량 측정부는,상기 결함의 형상 정보로부터 상기 고주파 성분에 대한 복수의 감쇠량들을 측정하고, 상기 복수의 감쇠량들을 평균한 평균 감쇠량을 계산하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 신호 검출 모듈은,상기 물체 표면의 결함을 통과하기 전의 초음파 신호 및 상기 물체 표면의 결함을 통과한 후의 초음파 신호를 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
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제5항에 있어서,상기 초음파 신호 검출 모듈은,한 위치에서 초음파 신호를 측정하는 경우에는 상기 물체 표면의 결함을 통과한 후의 초음파 신호를 측정하고, 메모리에 저장되어 있는 무결함 물체에서 획득한 초음파 신호를 상기 물체 표면의 결함을 통과하기 전의 초음파 신호로 하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 결함 깊이 추출 모듈은,상기 중심 주파수 값의 감쇠량이 상기 결함의 깊이에 비례함을 이용하여 상기 결함의 깊이 정보를 추출하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 결함의 깊이 정보는 상기 정규화된 스펙트럼의 고주파 성분의 감쇠량에 비례하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 장치
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적어도 하나의 조사용 레이저 빔을 이용하여 물체 표면에 초음파를 발생시키는 단계;상기 초음파가 전파되는 상기 물체 표면에 측정용 레이저 빔을 조사하고 일정 간섭계를 이용하여 상기 물체 표면의 초음파를 측정하여 초음파 신호 정보들을 추출하는 단계;상기 추출된 초음파 신호 정보들로부터 정규화된 스펙트럼을 추출하고, 상기 추출된 정규화된 스펙트럼으로부터 상기 초음파 신호 정보들의 중심 주파수값을 추출하는 단계; 및상기 추출된 초음파 신호 정보들과 연관하여 계산되는 전달함수를 이용한 결함 통과 전후의 (1) 고주파 성분값의 이동량, 및 상기 추출된 (2) 중심 주파수값의 이동량을 기반으로 결함의 깊이 정보를 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 표면 결함 검사 방법
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제9항의 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록매체
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