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연삭 대상물의 양단을 회전 가능하게 지지하는 한 쌍의 척킹핀;상기 연삭 대상물을 연삭하는 연삭유닛;상기 연삭 대상물이 연삭되는 과정에서, 상기 연삭 대상물의 외경 변화와 상기 연삭유닛이 상기 연삭 대상물에 가하는 힘 중 적어도 어느 하나를 측정하여 상기 척킹핀 간의 정렬 정도를 예측하는 측정유닛; 및상기 측정유닛에 의해 예측된 척킹핀 간의 정렬 정도에 대응하여 상기 척킹핀의 상대 위치를 변화시키는 이송유닛;을 포함하여 구성되는 연삭장치
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제1항에 있어서,상기 연삭 대상물은 원통 형상의 페룰(Ferrule)인 것을 특징으로 하는 연삭장치
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제1항에 있어서,상기 연삭유닛이 배치되는 방향으로의 정렬 정도는 상기 연삭 대상물의 외경 변화에 의해 예측하고;상기 연삭유닛이 배치되는 방향에 수직한 방향으로의 정렬 정도는 상기 연삭유닛이 연삭 대상물에 가하는 힘에 의해 예측하는 것을 특징으로 하는 연삭장치
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제1항에 있어서,상기 측정유닛은 상기 연삭 대상물의 길이방향으로 복수 지점의 외경을 측정하는 외경측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭장치
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제1항에 있어서,상기 측정유닛은 상기 연삭유닛이 상기 연삭 대상물에 가하는 힘을 측정하는 힘측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭장치
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제5항에 있어서,상기 힘측정부는 압전소자를 이용하여 힘을 측정하는 것을 특징으로 하는 연삭장치
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제1항에 있어서,상기 이송유닛은 상기 연삭 대상물의 회전축을 관통하는 법평면 상에서 상기 한 쌍의 척킹핀 중 적어도 어느 하나의 위치를 이동시키는 것을 특징으로 하는 연삭장치
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제7항에 있어서,상기 이송유닛은,상기 척킹핀을 상기 법평면 상의 일 방향으로 이동시키는 제1이동부; 및상기 척킹핀을 상기 법평면 상에서 상기 일 방향과 수직한 방향으로 이송시키는 제2이동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭장치
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제8항에 있어서,상기 제1이동부와 제2이동부 중 적어도 어느 하나는,상기 척킹핀을 이동시키는 주이동부; 및상기 척킹핀을 상기 주이동부에 비해 상대적으로 작은 치수만큼 미세하게 이동시키는 미세이동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭장치
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제1항에 있어서,상기 연삭유닛은 상기 연삭 대상물의 측부에 구비되는 것을 특징으로 하는 연삭장치
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연삭장치의 척킹핀 정렬방법에 있어서,(가) 연삭 대상물의 양단을 한 쌍의 척킹핀에 의해 회전 가능하게 지지하는 단계;(나) 상기 한 쌍의 척킹핀에 지지되는 연삭 대상물을 연삭하는 단계;(다) 상기 연삭 대상물을 연삭하는 과정에서 상기 연삭 대상물의 외경 변화와 상기 연삭유닛이 연삭 대상물에 가하는 힘 중 적어도 어느 하나를 측정하여 상기 척킹핀 간의 정렬 정도를 예측하는 단계; 및(라) 상기 (다)단계에서 예측된 척킹핀 간의 정렬 정도에 대응하여 상기 척킹핀의 상대 위치를 변화시키는 단계;를 포함하여 구성되는 연삭장치의 척킹핀 정렬방법
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제11항에 있어서,상기 (다)단계에서,연삭을 수행하는 유닛이 배치되는 방향으로의 정렬 정도는 상기 연삭 대상물의 외경 변화에 의해 예측하고;연삭을 수행하는 유닛이 배치되는 방향에 수직한 방향으로의 정렬 정도는 상기 연삭유닛이 연삭 대상물에 가하는 힘에 의해 예측하는 것을 특징으로 하는 연삭장치의 척킹핀 정렬방법
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제11항에 있어서,상기 (라)단계에서, 상기 척킹핀의 상대위치 변화는 상기 연삭 대상물의 회전축을 관통하는 법평면 상에서 상기 한 쌍의 척킹핀 중 적어도 어느 하나의 위치를 이동시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 연삭장치의 척킹핀 정렬방법
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