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무전해법에 의한 연성동적층기판(FCCL) 필름 제조 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2014002403
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 폴리이미드 필름의 양면에 구리 도금층을 효율적으로 전해 도금하는 한편, 보수 및 유지 또는 도금조 또는 세척조 내에서의 청소 등의 작업이 용이한 FCCL 필름 제조 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 장치는, 구리 피막이 양면에 형성된 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에서 산화 피막을 제거하기 위하여 피도금 필름의 양면에 산세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 산세척 장치와; 산세척 및 구리 도금된 피도금 필름 상에 잔류하는 산세척액 및 구리 전해액을 세척하기 위하여 피도금 필름 상에 수세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 다수의 수세척 장치들과; 수세척 장치들 사이에 설치되고, 이송되는 피도금 필름과 접촉하여 음극(-)의 전류를 공급하는 한편, 구리 전해액 중의 피도금 필름의 이송 경로 상에 양극(+)의 전류를 공급하여, 피도금 필름의 양면 상에 구리 도금층을 도금하는 하나 이상의 구리 도금 장치들과; 도금 장치들을 통과하는 동안 도금된 구리 도금층이 녹이 스는 것을 방지하기 위하여 구리 도금층에 방청액을 분사하는 방청 장치와; 방청 처리된 피도금 필름으로부터 방청액을 건조시키기 위한 건조 장치를 포함한다.FCCL 필름 제조 장치, 도금장치, 세척 장치, 지그, 폴리이미드 필름
Int. CL B32B 15/08 (2006.01) B32B 15/20 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020050070844 (2005.08.03)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0661456-0000 (2006.12.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20061227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.08.03)
심사청구항수 29

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍기 대한민국 경기도 고양시 일산구
2 손성호 대한민국 경기도 고양시 일산구
3 구석본 대한민국 경기도 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충남 천안시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0428132-10
2 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0471067-37
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.08.11 수리 (Accepted) 9-1-2006-0051757-81
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0474599-11
6 의견서
Written Opinion		 2006.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0704115-75
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.09.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0704190-89
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0650113-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구리 피막이 양면에 형성된 피도금 필름이 이송되는 동안, 피도금 필름의 양면에 구리 도금층을 연속적으로 도금하는 FCCL 필름 제조 장치에 있어서,피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에서 산화 피막을 제거하기 위하여 피도금 필름의 양면에 산세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 산세척 장치와;산세척 및 구리 도금된 피도금 필름 상에 잔류하는 산세척액 및 구리 전해액을 세척하기 위하여 상기 피도금 필름 상에 수세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 다수의 수세척 장치들과;상기 수세척 장치들 사이에 설치되고, 이송되는 상기 피도금 필름과 접촉하여 음극(-)의 전류를 공급하는 한편, 구리 전해액 중의 피도금 필름의 이송 경로 상에 양극(+)의 전류를 공급하여, 피도금 필름의 양면 상에 구리 도금층을 도금하는 하나 이상의 구리 도금 장치들과;상기 도금 장치들을 통과하는 동안 도금된 구리 도금층이 녹이 스는 것을 방지하기 위하여 구리 도금층에 방청액을 분사하는 방청 장치와;방청 처리된 상기 피도금 필름으로부터 방청액을 건조시키기 위한 건조 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 수세척 장치는 피도금 필름을 세척액을 수용하는 세척조, 상기 세척조로 공급하기 위한 세척액을 저장하는 세척액 저장조, 피도금 필름에 세척액을 분사하도록 상기 세척조로 세척액을 펌핑하는 한편 외부의 세척액 탱크로부터 상기 세척액 저장조로 세척액을 공급하기 위한 이송 펌프, 및 상기 세척조로 공급되는 세척액중 이물질을 여과하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 세척조는 상부가 개방된 사각통 형상의 외측 케이스와, 상기 외측 케이스의 양측벽으로부터 내측으로 일정 거리 떨어져 배치되어 중앙에 피도금 필름의 세척을 위한 처리조 및 처리조로부터 넘친 세척액을 상기 세척액 저장조로 배출시키기 위한 배출조를 구획하는 한 쌍의 내측벽들을 구비하고, 상기 각각의 내측벽은 내측 양측에 제공되는 고정 측벽들과, 상기 고정 측벽들 사이에서 상하로 슬라이드되는 이동 측벽이 제공되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 세척조는, 이송중인 피도금 필름을 세척하기 위한 세척액을 수용하기 위한 처리조;상기 피도금 필름을 가이드하기 위하여 상기 처리조의 전방 상부 및 후방에 각각 회전되도록 설치되는 상부 가이드 롤 및 이송롤;상기 처리조의 내측 중앙 양측에 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤;상기 상부 가이드 롤과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에서 이송중인 피도금 필름의 양면에 세척액을 분사하도록 상기 처리조 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 분사 노즐들을 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 세척조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 분사 노즐들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 상부 가이드 롤, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
7 7
제 4 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
8 8
제 1 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 산세척 장치 및 상기 방청 장치는 상기 수세척과 동일한 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 구리 도금 장치는, 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하기 위한 통전롤들, 이송중인 피도금 필름을 침적시키기 위한 도금액을 수용하며, 양극(+)의 전류가 공급되어 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 형성하는 다수 쌍의 지그들이 설치되는 도금조, 상기 도금조의 하부에 위치되는 도금액 저장조, 상기 도금액 저장조로부터 상기 도금조로 도금액을 공급하기 위한 도금액 공급 펌프, 및 상기 도금조로 공급되는 도금액중 이물질을 제거하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 도금조는 상부가 개방된 사각통 형상의 외측 케이스와, 상기 외측 케이스의 양측벽으로부터 내측으로 일정 거리 떨어져 배치되어 중앙에 피도금 필름의 도금을 위한 반응조 및 상기 반응조로부터 넘친 도금액을 상기 도금액 저장조로 배출시키기 위한 배출조를 구획하는 한 쌍의 내측벽들을 구비하고, 상기 각각의 내측벽은 내측 양측에 제공되는 고정 측벽들과, 상기 고정 측벽들 사이에서 상하로 슬라이드되는 이동 측벽이 제공되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
11 11
제 9 항에 있어서, 상기 도금조는, 이송중인 피도금 필름을 도금하기 위한 도금액을 수용하기 위한 반응조;상기 반응조의 전방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 가이드하는 한편, 상기 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하는 한 쌍의 통전롤들;상기 처리조의 후방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 이송하는 이송롤;상기 반응조의 중앙 양측에 상하 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤;양극(+)의 전류가 공급되며, 상기 통전롤들과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 반응조에 수용된 도금액 중에 설치되고, 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 도금하기 위하여 상기 반응조 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 지그들을 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 도금조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에 제공되는 상기 지그들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
13 13
제 11 항에 있어서, 상기 통전롤들, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
14 14
제 11 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
15 15
제 1 항에 있어서, 피도금 필름은 상기 산세척 장치의 전단에 설치되는 공급 기구에 설치된 롤에 권취된 상태에서, 상기 가열 장치의 후단에 설치된 감이 기구의 동력에 의하여 상기 산세척 장치, 상기 수세척 장치들 및 상기 구리 도금 장치들을 소정의 속도로 통과하여 이송되는 것을 특징으로 FCCL 필름 제조 장치
16 16
제 11 항에 있어서, 상기 지그는 피도금 필름과 마주하는 일면이 개방된 케이스, 구리 전해액에 구리이온을 보충하기 위한 구리 볼을 수용하고, 케이스에 수용되는 바스켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치
17 17
양면에 구리 피막이 형성된 피도금 필름을 가이드하기 위하여 전방 상부 및 후방에 각각 회전되도록 설치되는 상부 가이드 롤 및 이송롤, 내측 중앙 양측에 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤, 및 상기 상부 가이드 롤과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에서 이송중인 피도금 필름의 양면에 세척액을 분사하도록 측벽 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 분사 노즐들을 구비하는 세척조;상기 세척조로 공급하기 위한 세척액을 저장하는 세척액 저장조; 상기 피도금 필름에 세척액을 분사하도록 세척조로 세척액을 펌핑하는 한편 외부의 세척액 탱크로부터 상기 세척액 저장조로 세척액을 공급하기 위한 이송 펌프; 및 상기 세척조로 공급되는 세척액중 이물질을 여과하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치
18 18
제 17 항에 있어서, 상기 세척조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 분사 노즐들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치
19 19
제 17 항에 있어서, 상기 상부 가이드 롤, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치
20 20
제 17 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치
21 21
전방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 가이드하는 한편, 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하기 위한 통전롤들, 후방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 이송하는 이송롤, 중앙 부분에서 상하로 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤, 및 이송중인 피도금 필름을 침적시키기 위한 도금액을 수용하며, 양극(+)의 전류가 공급되어 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 형성하는 다수 쌍의 지그들을 구비하는 도금조;상기 도금조의 하부에 위치되는 도금액 저장조;상기 도금액 저장조로부터 상기 도금조로 도금액을 공급하기 위한 도금액 공급 펌프; 및 상기 도금조로 공급되는 도금액중 이물질을 제거하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 구리 도금 장치
22 22
제 21 항에 있어서, 상기 도금조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 지그들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 도금 장치
23 23
제 21 항에 있어서, 상기 상부 가이드 롤, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 도금 장치
24 24
제 21 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 도금 장치
25 25
제 21 항에 있어서, 상기 통전롤들, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치에 사용되는 도금 장치
26 26
제 21 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치에 사용되는 도금 장치
27 27
제 21 항에 있어서, 상기 지그는 피도금 필름과 마주하는 일면이 개방된 케이스, 구리 전해액에 구리이온을 보충하기 위한 구리 볼을 수용하고, 케이스에 수용되는 바스켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치에 사용되는 도금 장치
28 28
구리 피막이 양면에 형성된 폴리이미드 필름을 피도금체로 하여 연속적으로 양면에 구리 도금층을 형성하여 FCCL 필름을 제조하는 방법에 있어서,묽은 산용액을 피도금체의 양면에 분사하여, 상기 구리 피막에 형성된 산화피막을 제거하는 산세척 단계;산세척된 피도금 필름에 세척액을 분사하여, 피도금 필름에 잔류하는 상기 산세척액을 제거하는 제 1 세척 단계;구리 전해액을 작업 유체로 하여 상기 구리 피막 상에 구리 핵을 포함하는 구리 도금층을 형성하는 도금 단계;DI 워터를 작업 유체로 하여 구리 도금층 상에 잔류하는 구리 전해액을 세척하는 제 2 세척 단계를 포함하며;상기 도금 단계와 상기 제 2 세척 단계는 1회 이상 반복 수행되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 방법
29 29
제 28 항에 있어서, 피도금 필름 상에 최종적으로 도금된 구리 도금층이 녹이 스는 것을 방지하기 위하여 구리 도금층을 방청 처리하는 방청 단계와; 방청액을 건조시키기 위한 건조 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 방법
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순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP01750491 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP01750491 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP01750491 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 EP01750491 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
5 JP19039783 JP 일본 FAMILY
6 US07678242 US 미국 FAMILY
7 US20070032080 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 AT518412 AT 오스트리아 DOCDBFAMILY
2 EP1750491 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP1750491 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 EP1750491 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 EP1750491 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 JP2007039783 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 US2007032080 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US7678242 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.