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액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀을 정렬하기 위한 가이드에 있어서,일면에 전도막이 도금되고 부도체 재질로 형성된 패드;상기 전도막 상에 위치하고, 상기 프로브핀이 삽입되는 다수개의 에칭공이 몸체 상하로 관통되어 횡렬 및 종렬로 식각에 의해 형성되며, 표면이 절연처리되고 프로브핀과의 충격을 줄이기 위해 파릴린을 코팅하여 보호막을 형성한 하부슬릿;상기 하부슬릿의 상면 일측에 상기 에칭공과 간섭없이 위치하는 부도체 재질의 지지체; 및상기 지지체 상에 위치하고, 상기 하부슬릿의 에칭공과 동일선상으로 횡정렬되도록 상기 프로브핀이 삽입되는 다수개의 에칭홈이 식각에 의해 형성되며, 표면이 절연처리되고 프로브핀과의 충격을 줄이기 위해 파릴린을 코팅하여 보호막을 형성한 상부슬릿을 포함하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드
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제 1 항에 있어서,상기 에칭공은 횡정렬 간격 1~40㎛, 립 두께 1~40㎛ 및 깊이 10~1000㎛인 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드
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제 1 항에 있어서,상기 에칭홈은 횡정렬 간격 1~40㎛, 립 두께 1~40㎛ 및 깊이 10~1000㎛인 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패드는 글래스 재질로 형성된 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전도막은 Au, Cu, Ni 및 Ag 중 어느 하나의 소재 또는 합금을 이용하여 도금되는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지체의 높이는 프로프핀의 규격에 따라 결정되는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지체는 실리콘, 산화규소, 글래스, 알루미나 및 지르코니아 중 어느 하나로 형성된 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드
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부도체 재질의 원판 일면에 전도막을 도금하여 패드를 성형하는 제1단계;실리콘 재질의 몸체 상하로 관통된 다수개의 에칭공을 횡렬 및 종렬로 식각 형성하고 상기 에칭공 표면을 등방성 식각을 이용하여 거칠기를 완화시킨 후 표면에 절연처리하여 하부슬릿을 성형하고, 상기 패드 상부에 본딩하는 제2단계;프로브핀 사이즈에 대응하는 높이를 갖도록 지지체를 성형하고, 상기 하부슬릿 상부의 상기 에칭공과 간섭없는 위치에 상기 지지체를 본딩하는 제3단계; 및상기 하부슬릿의 에칭공과 동일선상으로 횡정렬되도록 다수개의 에칭홈을 식각형성하고 상기 에칭홈 표면을 등방성 식각을 이용하여 거칠기를 완화시킨 후 표면에 절연처리하여 상부슬릿을 성형하고, 상기 지지체 상부에 본딩하는 제4단계를 포함하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 에칭공은 횡정렬 간격 1~40㎛, 립 두께 1~40㎛ 및 깊이 10~1000㎛로 형성하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 에칭홈은 횡정렬 간격 1~40㎛, 립 두께 1~40㎛ 및 깊이 10~1000㎛로 형성하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브핀의 정렬 가이드 제조방법
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