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잉크를 보관하기 위한 제1잉크 보관부;상기 제1잉크 보관부로부터 유입된 잉크를 기판에 전사하기 위한 홀과 홀을 개폐하기 위한 탐침으로 이루어진 탐침부; 상기 제1잉크 보관부 하부에 상기 탐침부를 고정하기 위한 탐침 지지부; 및상기 탐침부의 위치와 가공상태를 확인하기 위한 CCD 카메라로 이루어진 광학부를 포함하는 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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제1항에 있어서, 상기 탐침부는상기 제1잉크 보관부로부터 하기 제2잉크 보관부로 유입하기 위한 잉크 전달부;상기 잉크를 보관하고 일단에 홀이 형성된 제2잉크 보관부; 및상기 홀을 개폐하여 상기 잉크를 전사하기 위한 탐침을 포함하는 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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제2항에 있어서, 상기 탐침은 기판과 접촉시 발생하는 압력, 압전효과 및 열팽창 중 어느 하나를 이용하여 상기 홀을 개폐하는 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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제2항에 있어서, 상기 탐침은 친수성 부여 및 보호를 위하여 박막으로 코팅 처리된 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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제2항에 있어서, 상기 탐침은 Rh, Cr, Ni-W, Ni-Co, Ni-Fe 및 Ni-Mn 중 어느 하나로 형성된 도금 구조물인 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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제2항에 있어서, 상기 홀과 상기 탐침은 복수로 형성된 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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제2항에 있어서, 상기 탐침은 니켈 또는 니켈을 포함하는 소재로 형성된 스프링 구조물과 본딩된 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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제2항에 있어서,상기 제1잉크 보관부 및 제2잉크 보관부는 잉크가 굳는 것을 막기 위하여 가열, 초음파 진동 및 강제 순환 중 어느 하나를 이용하는 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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제1항에 있어서,상기 잉크는 전도성 물질을 포함하는 선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
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