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액정디스플레이의 박막트랜지스터 패널 검사장치 및 그제조방법

  • 기술번호 : KST2014002889
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 MOSFET을 이용하여 대면적의 패널을 일관되고 빠르게 검사할 수 있는 TFT-LCD의 TFT 패널 검사장치를 제공함에 목적이 있다. 본 발명의 액정디스플레이의 박막트랜지스터 패널 검사장치는 액정패널을 검사하기 위하여 기판상에 형성되는 전계효과 트랜지스터, 상기 전계효과 트랜지스터 상부에 증착되는 유전층, 상기 유전층을 관통하여 상기 전계효과 트랜지스터의 게이트와 연결되는 검지전극과 상기 전계효과 트랜지스터의 소스 또는 드레인에 형성되는 본딩 패드를 포함하는 적어도 하나의 액정 패널 검사 셀; 상기 액정패널 검사 셀로부터 출력되는 신호를 취득하기 위한 신호 취득 회로부; 및 상기 액정패널 검사 셀과 상기 신호 취득 회로부를 전기적으로 연결하기 위한 연결부를 포함한다.액정, 패널, TFT, MOSFET, 전기장
Int. CL G02F 1/13 (2006.01)
CPC G09G 3/006(2013.01) G09G 3/006(2013.01) G09G 3/006(2013.01)
출원번호/일자 1020060050656 (2006.06.07)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0844393-0000 (2008.07.01)
공개번호/일자 10-2007-0117017 (2007.12.12) 문서열기
공고번호/일자 (20080707) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.06.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대성 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 성우경 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0397672-60
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0446958-32
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0754377-60
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0754328-33
5 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2007.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0594660-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0002727-00
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.01.02 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2008-0002723-17
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2008.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0046263-83
9 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2008.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0045598-94
10 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2008.03.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2008-0012711-44
11 등록결정서
Decision to grant
2008.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0196495-97
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
액정패널을 검사하기 위하여 기판상에 형성되는 전계효과 트랜지스터, 상기 전계효과 트랜지스터 상부에 증착되는 유전층, 상기 유전층을 관통하여 상기 전계효과 트랜지스터의 게이트와 연결되는 검지전극과 상기 전계효과 트랜지스터의 소스 또는 드레인에 형성되는 본딩 패드를 포함하는 적어도 하나의 액정 패널 검사 셀;상기 액정패널 검사 셀로부터 출력되는 신호를 취득하기 위한 신호 취득 회로부; 및상기 액정패널 검사 셀과 상기 신호 취득 회로부를 전기적으로 연결하기 위한 연결부를 포함하는 액정디스플레이의 박막트랜지스터 패널 검사장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 전계효과 트랜지스터와 상기 검지전극은 각각 관통형 전극이 형성된 절연성 기판 양면에 형성되어 연결부에 의하여 전기적으로 연결된 액정디스플레이의 박막트랜지스터 패널 검사장치
4 4
제2항에 있어서,상기 기판은 SOI을 사용하는 액정디스플레이의 박막트랜지스터 패널 검사장치
5 5
전계효과 트랜지스터 상부에 유전층을 형성하는 단계;상기 유전층에 비아홀을 형성하여 상기 전계효과 트랜지스터의 게이트 전극을 노출시키는 단계; 상기 유전층 전면에 금속층을 증착하여 상기 비아홀 내부에 플러그 및 상기 유전층상에 검지전극을 형성하는 단계;상기 전계효과 트랜지스터의 소스 또는 드레인을 노출시켜 하기 신호취득회로와 연결을 위한 본딩패드를 형성하는 단계; 및상기 본딩패드와 상기 신호취득회로를 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 액정디스플레이의 박막트랜지스터 패널 검사장치의 제조방법
6 6
절연성 기판의 일측면에 전계효과 트랜지스터를 형성하는 단계;상기 절연성 기판의 다른 측면에 상기 전계효과 트랜지스터와 소정의 거리로 이격된 곳에 비아홀을 형성하는 단계;상기 비아홀에 관통형 전극을 형성하고 상기 절연성 기판의 다른 측면에 검지전극을 형성하는 단계; 및상기 전계효과 트랜지스터의 게이트 전극과 상기 절연성 기판의 일측면에 형성된 상기 관통형 전극을 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 액정디스플레이의 박막트랜지스터 패널 검사장치의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.