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잉크를 공급하는 잉크 공급부;공기를 공급하는 하나 이상 구비된 공기 공급부;잉크 저장소와 연결되는 잉크 재순환 배출부;잉크가 저장되었다가 가압시 잉크를 배출시키는 압력 챔버;상기 잉크 공급부에서 공급된 잉크를 내보내는 통로인 잉크 채널;상기 공기 공급부에서 공급된 공기를 내보내는 통로인 공기 채널;한 지점으로 상기 잉크 채널과 공기 채널이 만나서 배출 채널 및 잉크 재순환 채널을 분기시키며, 상기 잉크 채널 및 공기 채널이 한 지점으로 수렴되어 잉크 채널의 잉크와 공기 채널의 공기가 내측 및 외측에 위치한 잉크-공기유동을 생성하는 집속부; 외부로의 잉크 배출시 상기 집속부에서 생성된 잉크-공기 유동을 외부로 안내하는 잉크 배출 채널; 및잉크 저장소로의 재순환시 집속부에서 생성된 잉크-공기 유동을 잉크 재순환 배출부로 안내하는 잉크 재순환 채널을 포함하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 1항에 있어서, 상기 공기 공급부가 2개 이상인 경우, 상기 집속부에 의해 생성된 공기-잉크 유동을 공기-잉크 채널을 통해 외부로 배출시킬 때 상기 공기 공급부에 공급되는 공기압을 동일하게 적용시키며; 상기 잉크 공급부에서 공급된 잉크를 잉크 재순환 배출부를 통해 잉크 저장소로 내보내고자 할 때 상기 공기 공급부에 공급되는 공기압을 달리 적용시키는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 1항 또는 2항에 있어서, 상기 압력 챔버의 상부에 탄성판을 더 구비함을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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다수의 판을 적층하여 구성되는 잉크젯에 있어서,상, 하부 전극 및 그 사이에 압전판을 삽입시켜 가압부를 형성시키고, 상기 상부전극의 상측에 보호층을 형성시키며, 상기 하부전극의 하측에 탄성판이 배치되어 채널의 상측면을 형성하여 구성되는 위판과상기 위판의 하측에 채널판을 형성시켜 채널의 측면을 형성하고, 상기 채널판의 하측에 하부판을 형성시켜 채널의 하측면을 형성하여 구성되는 아래판이 접합되어 채널이 내측에 형성되는 나노 잉크젯 프린터 헤드를 구성시키고,상기 채널은 잉크 채널, 하나 이상의 공기 채널 및 잉크 재순환 채널로 구분시켜 상기 위판을 관통하는 잉크 공급부, 공기 공급부 및 잉크 재순환 배출부와 연결시키고, 상기 잉크 채널 및 공기 채널이 한 지점으로 수렴되어 잉크 채널의 잉크와 공기 채널의 공기가 내측 및 외측에 위치한 잉크-공기유동을 생성하는 집속부를 형성시키고,외부로의 잉크 배출시 상기 집속부의 잉크-공기유동을 외부로 안내하는 잉크-공기 채널, 잉크 저장소로의 재순환시 집속부에 의해 생성된 잉크-공기 유동을 잉크 재순환 배출부로 안내하는 잉크 재순환 채널이 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 4항에 있어서, 상기 잉크 재순환 배출부로 안내된 잉크-공기 유동을 잉크 저장소로 내보내기 위한 수단을 더 포함함을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 4항에 있어서, 외부로의 잉크 배출시에는 집속부에 의해 생성된 잉크-공기 유동이 잉크-공기 채널로만 유입되도록 하는 수단과,잉크 저장소로의 재순환시에는 집속부에 의해 생성된 잉크-공기 유동이 잉크 재순환 채널로만 유입되도록 하는 수단을 더 포함함을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 4항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 공기 공급부가 2개 이상인 경우, 상기 집속부에 의해 생성된 공기-잉크 유동을 공기-잉크 채널을 통해 외부로 배출시킬 때 상기 공기 공급부에 공급되는 공기압을 동일하게 적용시키며;상기 잉크 공급부에서 공급된 잉크를 잉크 재순환 배출부를 통해 잉크 저장소로 내보내고자 할 때 상기 공기 공급부에 공급되는 공기압을 달리 적용시키는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 4항에 있어서, 상기 집속부는 상기 잉크 채널과 공기 채널이 90도 이하의 각도로 만나도록 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 8항에 있어서, 상기 가압부 하측의 탄성판에는 압력 챔버가 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 8항 또는 9항에 있어서, 상기 잉크 공급부의 상측에 잉크 가압펌프가 설치되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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제 10항에 있어서, 상기 잉크 공급부 및 공기 공급부는 아래판의 구멍이 위판의 구멍보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드
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기판의 상측에 SiO2을 원하는 두께로 증착하는 증착 단계와, 상기 증착된 SiO2층을 마스크와 자외선으로 원하는 선폭과 형상으로 노광하는 노광 단계와, 상기 노광 단계를 거친 후 습식 에칭으로 노광된 SiO2을 제거하여 원하는 형상의 잉크 채널, 공기 채널, 잉크-공기 채널 및 잉크 재순환 채널을 형성시키는 채널형성단계를 포함하는 아래판 제조단계;상, 하부 전극 및 그 사이에 압전판이 삽입되어 가압부가 형성되는 단계와, 상기 상부전극의 상측에 보호층이 위치되고, 상기 하부전극의 하측에 탄성판이 위치되는 단계와, 상기 보호층에서 탄성판을 관통하는 잉크 공급부, 공기 공급부 및 잉크 재순환 배출부를 가공하는 단계를 포함하는 위판 제조단계; 및상기 아래판과 위판을 접합하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드의 제조방법
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제 12항에 있어서, 상기 가압부의 하측에 위치한 탄성판에 이방성 KOH 습식에칭으로 압력챔버를 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드의 제조방법
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제 12항 또는 13항에 있어서, 각 장치 연결단계를 더 포함하며, 상기 각 장치 연결 단계에서는 잉크 재순환 배출부와 잉크 저장소간 연결시키고, 공기 유입부에는 공기 공급(유입) 펌프를 연결시키며, 잉크 공급부에는 잉크 가압 펌프를 연결시키는 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드의 제조방법
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제 14항에 있어서, 잉크 재순환 배출부에서 잉크 저장소로의 잉크 재순환을 원활하게 하기 위한 수단을 구비함을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드의 제조방법
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제 15항에 있어서, 상기 잉크 재순환 배출부에서 잉크 저장소로의 잉크 재순환을 원활하게 하기 위한 수단은 잉크 배출 펌프인 것을 특징으로 하는 나노 잉크젯 프린터 헤드의 제조방법
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