| 1 |
1
레이저 발진을 일으키는 활성층과, 상기 활성층으로 전류를 주입하기 위한 p형 전극 및 n형 전극을 구비한 레이저 다이오드에 있어서,패키징시 히트싱크가 부착되는 상기 p형 전극 혹은 n형 전극에 요철구조가 반복적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 요철구조는 횡단면이 'V'자 모양인 스트라이프 패턴의 그루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 활성층은 메사 구조를 갖도록 형성되고,상기 요철구조의 그루브가 상기 메사의 길이방향에 수직한 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드
|
| 4 |
4
레이저 발진을 일으키는 활성층과, 상기 활성층으로 전류를 주입하기 위한 p형 전극 및 n형 전극을 구비한 레이저 다이오드의 제조방법에 있어서,상기 p형 전극 혹은 n형 전극을 형성하는 공정은,상기 p형 전극 혹은 n형 전극이 형성될 기판 표면에 마스크층을 증착하는 제1단계;포토리소그래피 공정과 BOE 식각공정으로 상기 마스크층의 증착막을 일정 패턴으로 제거하여 마스크를 형성하는 제2단계;상기 마스크를 통해 노출되는 부분을 식각하여 기판 표면에 요철구조를 형성하는 제3단계;상기 마스크를 제거하는 제4단계; 및상기 요철구조에 대응하는 굴곡을 갖는 전극이 형성되도록 상기 요철구조 위에 전극물질을 증착하는 제5단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 제조방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 활성층은 메사 구조를 갖도록 형성되고,상기 제2단계는, 메사의 길이방향에 수직한 스트라이프 패턴의 창을 갖는 마스크가 얻어지도록 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 제조방법
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 제3단계는, 횡단면이 'V'자 모양인 스트라이프 패턴의 그루브가 형성되도록 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 제조방법
|
