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실리콘 광 벤치 제작방법 및 실리콘(V-Groove)의 실리콘블록을이용한 포토다이오드 칩의 장착구조

  • 기술번호 : KST2014003475
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광통신용 송신 모듈에 있어서 모니터용 포토다이오드를 장착시키기 위한 실리콘 옵티컬 벤치 제작방법 및 모니터와 포토 다이오드 칩의 장착구조에 관한 것으로, 실리콘 옵티컬 벤치(100)를 구비하고, 이 실리콘 옵티컬 벤치(100)의 상면에는 레이저 다이오드 칩(12)과 포토다이오드 칩(10)이 장착될 각각의 레이저 다이오드 칩용 V홈(120)과 포토다이오드 칩용 V홈(130)을 광축선상에 일치되게 일렬로 형성하되, 포토다이오드 칩용 V홈(130)에는 이에 장착될 포토 다이오드 칩(10)의 장착 단면이 광축에 대해 소정의 기울기로 설치될 수 있도록 하는 다수의 실리콘 블록(132)을 형성하고, 상기 레이저 다이오드 칩용 V홈(120)과 포토다이오드 칩용 V홈(130)에는 각각의 레이저 다이오드 칩(12)과 포토다이오드 칩(10)을 장착하여서 된 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G02B 6/4243(2013.01)
출원번호/일자 1019980012125 (1998.04.06)
출원인 주식회사 엘에스
등록번호/일자 10-0289989-0000 (2001.02.26)
공개번호/일자 10-1999-0079489 (1999.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (20020821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.04.06)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘에스 대한민국 서울특별시 용산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최민호 대한민국 서울특별시 강동구
2 고한준 대한민국 경기도 군포시
3 이호성 대한민국 경기도 군포시
4 윤의식 대한민국 경기도 군포시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘에스전선 주식회사 경기 안양시 동안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1998.04.06 수리 (Accepted) 1-1-1998-0038459-86
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.04.06 수리 (Accepted) 1-1-1998-0038461-78
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.04.06 수리 (Accepted) 1-1-1998-0038460-22
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.11.06 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1998-0358300-53
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.12.09 수리 (Accepted) 4-1-1999-0149646-70
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2000-0004537-28
7 선행기술조사 보고서
Report of Prior Art Search		 2000.05.19 수리 (Accepted) 9-1-2000-0000952-86
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0126144-15
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.07.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5226207-19
10 의견서
Written Opinion		 2000.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2000-5226206-63
11 등록사정서
Decision to grant		 2000.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0300989-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.05.26 수리 (Accepted) 4-1-2001-0064118-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2003.05.07 수리 (Accepted) 4-1-2003-0026705-11
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.24 수리 (Accepted) 4-1-2005-5028369-27
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2008-5108352-10
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.03.16 수리 (Accepted) 4-1-2017-5040920-83
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2018-5267671-55
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번호 청구항
1 1

실리콘 옵티컬 벤치의 상면에 레이저 다이오드 칩과 포토 다이오드 칩을 장착시키기 위한 실리콘 광 벤치 제작방법에 있어서,

상기 실리콘 옵티컬 벤치의 상면에 나이트라이트(Si3 N4)박막을 형성하는 단계와,

상기 니트로이드 박막에 포토리소그래피 공정을 이용하여 광파이버 패튼부, 레이저 다이오드 칩 패튼부, 포토 다이오드 칩 패튼부를 형성하는 단계와,

상기 각 패튼부가 형성된 실리콘 옵티컬 벤치의 상면에 에칭용액을 사용하여 각각의 V홈을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 광 벤치 제작방법

2 2

실리콘 옵티컬 벤치(100)를 구비하고, 이 실리콘 옵티컬 벤치(100)의 상면에는 레이저 다이오드 칩(12)과 포토다이오드 칩(10)이 장착될 각각의 레이저 다이오드 칩용 V홈(120)과 포토다이오드 칩용 V홈(130)을 광축선상에 일치되게 일렬로 형성하되, 포토다이오드 칩용 V홈(130)에는 이에 장착될 포토 다이오드 칩(10)의 장착 단면이 광축에 대해 소정의 기울기로 설치될 수 있도록 하는 다수의 실리콘 블록(132)을 형성하고, 상기 레이저 다이오드 칩용 V홈(120)과 포토다이오드 칩용 V홈(130)에는 각각의 레이저 다이오드 칩(12)과 포토다이오드 칩(10)을 장착하여서 된 것을 특징으로 하는 실리콘 옵티컬 벤치와 포토 다이오드 칩의 장착구조

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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.