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읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버

  • 기술번호 : KST2014003517
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버에 관한 것으로, 보다 자세하게는 원자력 현미경 캔틸레버에 MOSFET를 내장시켜 정보의 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버를 제조하기 위한 것이다.본 발명의 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버는 금속층, 제1 실리콘층, 산화막 및 제2 실리콘층이 순차적으로 적층된 캔틸레버 지지부; 상기 캔틸레버 지지부의 제2 실리콘층만이 연장되어 형성된 캔틸레버 아암부; 상기 캔틸레버 아암부의 제2 실리콘층에 형성된 탐침; 상기 탐침의 하부에 형성된 채널; 상기 탐침의 중심부로부터 소정 거리만큼 이격된 양 측면에 형성된 소스/드레인; 및 상기 소스/드레인 사이에 형성된 게이트로 구성됨에 기술적 특징이 있다.캔틸레버, 탐침, 읽기/쓰기, MOSFET
Int. CL G01Q 60/24 (2010.01) G11B 9/00 (2010.01) G12B 21/08 (2010.01)
CPC G01Q 60/38(2013.01) G01Q 60/38(2013.01)
출원번호/일자 1020050063670 (2005.07.14)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0849391-0000 (2008.07.24)
공개번호/일자 10-2007-0009788 (2007.01.19) 문서열기
공고번호/일자 (20080731) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.07.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서문석 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 신진국 대한민국 서울특별시 강남구
3 이철승 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 김성현 대한민국 인천광역시 계양구
5 최영진 대한민국 경기도 성남시 분당구
6 이경일 대한민국 서울특별시 양천구
7 조진우 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0381228-58
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.08.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0056990-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0576883-32
5 의견서
Written Opinion
2006.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0882671-68
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0882662-57
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2007.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0232125-19
8 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2007.06.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2007-0025846-68
9 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2007.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0429535-90
10 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2007.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0429531-18
11 등록결정서
Decision to grant
2008.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0225524-04
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속층, 제1 실리콘층, 산화막 및 제2 실리콘층이 순차적으로 적층된 캔틸레버 지지부;상기 캔틸레버 지지부의 제2 실리콘층만이 연장되어 형성된 캔틸레버 아암부;상기 캔틸레버 아암부의 제2 실리콘층에 형성된 탐침;상기 탐침의 하부에 형성된 채널;상기 탐침의 중심부로부터 소정 거리만큼 이격된 양 측면에 형성된 소스/드레인; 및상기 소스/드레인 사이에 형성된 게이트를 포함하는 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버
2 2
제 1항에 있어서,상기 채널은 p형 불순물로 도핑되고, 소스와 드레인은 n형 불순물로 도핑된 것을 특징으로 하는 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버
3 3
제 1항에 있어서,상기 채널은 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버
4 4
제 1항에 있어서,상기 금속층은 금인 것을 특징으로 하는 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.