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가이드를 이용한 3차원 미소구조체의 얼라인방법

  • 기술번호 : KST2014003533
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가이드를 이용한 3차원 미소구조체의 얼라인방법에 관한 것으로서, 미소기전소자(Micro Electro Mechanical System: MEMS) 분야의 기술중 하나인 초정밀 얼라인 본딩(Align Bonding)을 저가의 저배율 현미경으로 할 수 있는 가이드를 이용한 3차원 미소구조체의 얼라인방법에 관한 것이다.본 발명은 서로 다른 패턴이 있는 상,하부 구조체와, 상기 상부 구조체에 사방으로 결합된 어레이 가이드와, 상기 하부 구조체 사방으로 위치되어 일정거리 이격된 벽체로 구성되는 얼라인 가이드로 구성되어, 상기 어레이 가이드가 얼라인 가이드 사이에 형성된 얼라인부로 3차원적으로 위에서 아래로 하강하면서 상부 구조체와 하부 구조체를 정렬시키는 방법이다.상기 방법에 의해 하부 구조체에 표면 미세 가공(Surface Micro-Machining)을 이용한 박막 구조나 기타 3차원 패턴이 형성되더라도 3차원 패턴의 손상없이 정렬 및 결합이 가능하며, 고가의 정렬장비가 없이도 쉽게 정렬을 할 수 있는 효과가 있다.미소기전소자, 패턴, 3차원 구조체, 얼라인 가이드, 어레이 가이드, 정렬, 얼라인 본딩.
Int. CL B81C 1/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020000053217 (2000.09.07)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0397864-0000 (2003.09.01)
공개번호/일자 10-2002-0019856 (2002.03.13) 문서열기
공고번호/일자 (20030919) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.09.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 서울특별시송파구
2 심태석 대한민국 서울특별시서대문구
3 오명환 대한민국 서울특별시성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2000-0190322-34
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2002.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2002-5066842-41
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.10.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2002-0027534-50
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0025532-40
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.03.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0103396-98
8 의견서
Written Opinion		 2003.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2003-0103393-51
9 등록결정서
Decision to grant		 2003.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0331087-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

패턴(10a)이 형성된 상부 구조체(10)의 사방에는 어레이 가이드(18)가 결합되어, 상기 어레이 가이드(18)에 대응되는 위치의 벽체(14a,14b)에 의해 구성되는 얼라인 가이드(14) 사이에 형성된 얼라인부(16)로, 상기 어레이 가이드(18)가 3차원적으로 위에서 아래로 하강하면서 상부 구조체(10)와 패턴(12a)이 형성된 하부 구조체(12)를 서로 정렬시키는 3차원 미세구조체의 얼라인방법에 있어서:

상기 패턴(10a,12a)보다 가이드(14,18)의 크기가 더 큰 것을 특징으로 하는 가이드를 이용한 3차원 미세구조체의 얼라인방법

2 2

삭제
3 3

청구항 1에 있어서, 상기 패턴(12a)의 높이보다 얼라인 가이드(14) 높이가 더 높은 것을 특징으로 하는 가이드를 이용한 3차원 미세구조체의 얼라인방법

4 4

삭제
5 5

청구항 1에 있어서, 상기 얼라인 어레이(14)를 구성하는 벽체(14a,14b)는 상부가 좁고 하부가 넓은 상협하광 형상인 것을 특징으로 하는 가이드를 이용한 3차원 미세구조체의 얼라인방법

6 6

삭제
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1 US2002026724 US 미국 DOCDBFAMILY
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