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중앙부에 중공이 형성되며, 상기 중공의 상부에 플렉서블한 막을 포함하는 펌핑 부재를 제작하는 단계와,폴리머에 의해, 그 하면에 홈이 형성되는 이송 부재를 제작하는 단계와,상기 펌핑 부재에 의해 상기 이송 부재의 하부에 형성된 홈을 밀폐하여 대상물이 이동하는 통로를 형성하며, 상기 펌핑 부재의 막이 상기 이송 부재의 홈의 중앙부에 위치하도록, 상기 이송 부재의 하부에 상기 펌핑 부재를 결합하는 단계와, 상기 막의 하부에 근육 세포를 배양하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 폴리머는 PDMS(PolyDiMethylsiloxane)로 이루어진 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 펌핑 부재를 제작하는 단계는,실리콘 웨이퍼 양면에 Si3N4를 증착하는 단계와,상기 실리콘 웨이퍼의 하면에 포토레지스터를 도포하여 소정시간동안 프리베이크(prebake)하는 단계와,상기 포토레지스터가 도포된 상기 실리콘 웨이퍼 하면을 자외선에 소정시간동안 노출시키고, 현상하는 단계와,상기 실리콘 웨이퍼 하면을 에칭하여 상기 실리콘 웨이퍼에 중공을 형성시키는 단계와,상기 포토레지스터를 제거하는 단계와,상기 중공부의 상부에서 막을 형성하도록 상기 실리콘 웨이퍼 상면에 PDMS를 도포하는 단계와,상기 실리콘 웨이퍼 하면의 Si3N4를 제거하고, 크롬/금을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 이송 부재를 제작하는 단계는,실리콘 웨이퍼 상부에 포토레지스터를 도포하고, 소정시간동안 프리베이크하는 단계와,상기 포토레지스터가 도포된 상기 실리콘 웨이퍼를 자외선에 소정시간동안 노출시키고, 현상하여 상기 포토레지스터가 상기 홈에 대응하는 형상을 갖도록 하는 단계와,상기 포토레지스터가 도포된 상기 실리콘 웨이퍼에 PDMS를 도포하는 단계와,상기 PDMS를 응고하는 단계와,원하는 부분만 패터닝함으로써, 상기 PDMS를 상기 실리콘 웨이퍼로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 펌핑 부재와 이송 부재를 결합하는 단계는,상기 이송 부재의 하부에 형성된 상기 홈이 상기 펌핑 부재에 의해 밀폐되며, 상기 펌핑 부재의 중공부 상부가 상기 이송 부재의 홈의 중앙에 위치하도록 상기 이송 부재와 펌핑 부재를 정열하는 단계와,산소 플라즈마를 이용하여 상기 이송 부재와 펌핑 부재를 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 펌핑 부재의 막에 근육 세포를 배양하는 단계는,상기 결합된 펌핑 부재의 막의 하부에 근육 세포가 결합되도록 SAM(Self Assembly Monolayer)처리를 하는 단계와,근육 세포를 상기 SAM 처리된 막의 하부에 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 근육 세포를 상기 SAM 처리된 막의 하부에 결합하는 단계는,외부에서 배양된 근육 세포를 상기 막의 하부에 이식하는 것이 아니라, 상기 결합된 이송 부재와 펌핑 부재를 세포 배양용액에 담근 상태에서 상기 근육 세포를 상기 결합된 펌핑 부재의 막에 결합시키고 배양시킨 후, 상기 결합된 이송 부재와 펌핑 부재를 상기 세포 배양용액으로부터 꺼내는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 근육 세포를 상기 SAM 처리된 막 상부에 결합하는 단계는,세포 배양용 용기에 상기 결합된 이송 부재와 펌핑 부재를 배치하는 단계; 및세포 배양 용액으로 채워진 세포 배양용 용기 내에서 상기 펌핑 부재의 막에 상기 근육 세포를 결합시킨 후, 배양시키는 단계와,근육 세포 배양 후 세척하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 펌핑 부재의 막에 상기 근육 세포를 결합시킨 후, 배양시키는 단계는, 상기 세포 배양액 용기에 임의로 투입된 상기 근육 세포가 상기 근육 세포와 친화적인 파이브로넥틴이 코팅된 상기 펌핑 부재의 막에 결합하는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 세포 배양 용액은 포도당(glucose)으로 채워져 있는 것을 특징으로 하는 근육 세포를 이용한 마이크로 펌프 제조 방법
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 기재된 제조 방법에 의해 제조되며, 상기 이송 부재의 하부에 형성되는 홈은, 대상물이 투입되는 투입로에 연결되는 노즐부와, 상기 노즐부에 연결되며 투입된 대상물이 모이게 되는 챔버부와, 상기 챔버부에서 이동된 대상물이 배출되는 배출로와 연결되는 디퓨져부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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제11항에 있어서,상기 펌핑 부재는 상기 이송 부재의 하부에 결합되어 상기 노즐부, 챔버부 및 디퓨져부를 밀폐하여 대상물의 통로를 형성하며, 상기 펌핑 부재의 상부에 형성된 상기 막이 상기 이송 부재의 챔버부의 중앙에 위치하여, 상기 막의 하부에 결합된 상기 근육 세포의 수축 또는 이완 운동에 의해 상기 막이 플렉서블하게 상하로 움직여서, 상기 챔버부의 체적 변화에 의해 생기는 압력 변화에 의해 대상물을 이동시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프
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