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실리콘 기판 상에 엑스레이(X-ray)용 마스크를 생성하는 단계(a);상기 단계(a)에서 생성된 엑스레이용 마스크 및 상기 엑스레이용 마스크와 소정 거리만큼 이격된 위치에 평행하게 배치된 광반사용 기판에 45도의 경사로 엑스레이를 조사(irradiate)하는 단계(b); 및상기 광반사용 기판에 상기 45의 경사로 조사되는 엑스레이 방향과 평행하면서, 동시에 서로 평행한 두 개의 면인 이중 광반사면을 형성하는 단계(c)를 포함하며,상기 이중 광반사면과 상기 실리콘 기판이 이루는 각은 45도인 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 엑스레이용 마스크는 금도금층인 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 단계(a)는, 상기 실리콘 기판의 전면에 크롬층을 생성하는 단계(d); 상기 크롬층상에 금도금층을 생성하는 단계(e); 및 상기 실리콘 기판이 노출되도록, 상기 크롬층 및 금도금층과 SU-8 포토레이지스트층을 형성한 후 다시 금도금층을 형성하여 선택적으로 식각하는 단계(f)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 단계(b)는, 상기 엑스레이를 상기 엑스레이용 마스크 및 상기 광반사용 기판에 비스듬하게 조사하는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 단계(c)는, 상기 광반사용 기판용 현상액으로 상기 광반사용 기판을 현상하고, 상기 광반사용 기판에 금도금을 수행하는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 엑스레이는 방사광 가속기에서 방출된 것으로, 상기 엑스레이용 마스크 및 광반사용 기판에 장시간 조사되는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 광반사용 기판의 소재는 폴리 메틸 메타크릴레이트(PMMA, Poly Methyl Methacrylate)인 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물 제조 방법
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이중 광반사 구조물에 있어서, 광반사용 기판과 45도의 경사를 이루며, 광반사를 위해 상기 광반사용 기판의 소재와 다른 소재의 광반사용 소재를 별도로 사용하지 않으며, 상기 광반사용 기판에 광반사용 물질을 도금한, 서로 평행한 두 개의 광반사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물
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제11 항에 있어서, 상기 광반사용 기판의 소재는 폴리 메틸 메타크릴레이트(PMMA, Poly Methyl Methacrylate)인 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물
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제11 항에 있어서, 상기 광반사용 물질은 금인 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물
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제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항의 이중 광반사 구조물 제조 방법에 의해 제조된 이중 광반사 구조물 내에 세포를 두고 관찰하는 세포관찰부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물을 이용한 미세 세포 관찰 장치
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제14 항에 있어서, 상기 세포 관찰부에서 상기 세포의 배면 및 측면 영상을 얻을 수 있는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물을 이용한 미세 세포 관찰 장치
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제14 항에 있어서, 상기 세포 관찰부는 세포를 이동시키는 채널의 역할도 하는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물을 이용한 미세 세포 관찰 장치
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제14 항에 있어서, 세포의 크기에 따라, 상기 광반사면 간의 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 이중 광반사 구조물을 이용한 미세 세포 관찰 장치
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실리콘 기판 상에 엑스레이용 마스크를 생성하며, 상기 엑스레이용 마스크 및 상기 엑스레이용 마스크와 소정 거리만큼 이격된 위치에 평행하게 배치된 광반사용 기판에 비스듬하게 엑스레이를 조사하고, 현상액으로 현상하며, 상기 광반사용 기판에 금도금을 수행하여 이중 광반사면을 형성하는 이중 광반사 구조물
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실리콘 기판 상에 엑스레이용 마스크를 생성하며, 상기 엑스레이용 마스크 및 상기 엑스레이용 마스크와 소정 거리만큼 이격된 위치에 평행하게 배치된 광반사용 기판에 비스듬하게 엑스레이를 조사하고, 현상액으로 현상하며, 상기 광반사용 기판에 금도금을 수행하여 이중 광반사면을 형성하는 이중 광반사 구조물
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