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편평한 기판상에 증착을 원하는 부분에 마스크 패턴을 형성하여 PR(photoresist)로 보호한 상태에서, 4개의 브리지 저항성분중 같은 고정방향을 갖는 2개의 저항성분으로 예정된 부분에 첫번째 스핀밸브 박막을 증착하고 PR을 제거하는 제1공정과; 상기 제1공정의 첫번째 스핀밸브 박막을 마스크 패턴을 형성하여 PR로 보호한 상태에서, 같은 고정방향을 갖는 나머지 2개의 저항성분으로 예정된 부분에 두번째 스핀밸브 박막을 증착하고 PR을 제거하는 제2공정과; 상기 4개 저항성분 패턴의 마스크를 형성하고 에칭하는 제3공정과; 상기 4개 저항성분의 컨택 배선을 위한 마스크 패턴을 형성한 다음 배선 재료를 증착한 후 배선을 형성하는 제4공정을; 포함하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제1공정과 제2공정에서 각각의 스핀밸브 박막은 일정한 방향의 균일한 자기장을 인가한 상태에서 증착시킴을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 제2공정에서 첫번째 스핀밸브 박막의 고정방향과 180° 정반대 고정방향으로 두번째 스핀밸브 박막을 증착시킴을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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청구항 3에 있어서, 상기 정반대 고정방향을 각각의 박막 증착 공정중에 인가한 자기장 방향과 평행한 방향으로 결정하는 것을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 첫번째와 두번째 스핀밸브 박막은 기판에서 상부로 버퍼층/제1강자성층/비자성층/제2강자성층/반강자성층/보호층 순으로 적층시키는 탑(top)형인 것을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 첫번째와 두번째 스핀밸브 박막은 기판에서 상부로 버퍼층/반강자성층/제1강자성층/비자성층/제2강자성층/보호층의 순으로 적층시키는 버텀(bottom)형인 것을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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7
청구항 5 또는 청구항 6에 있어서, 상기 반강자성층은 IrMn, PtMn, NiMn중에서 어느 하나로 이루어짐을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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청구항 5 또는 청구항 6에 있어서, 상기 첫번째와 두번째 스핀밸브 박막은 폭이 0
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청구항 1에 있어서, 상기 컨택 배선은 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 중에서 어느 하나로 이루어짐을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 컨택 배선은 Cr이나 Ti을 증착한 후 배선용 금속을 증착하는 것임을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제3공정에서, 제1공정의 2개의 저항성분은 첫번째 스핀밸브 박막 위치에 패터닝되고, 제2공정의 나머지 2개의 저항성분은 두번째 스핀밸브 박막 위치에 패터닝됨을 특징으로 하는 교환바이어스형 스핀밸브를 이용한 브리지센서 제조방법
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