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광스위칭 장치의 패키징

  • 기술번호 : KST2014003607
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광스위칭 장치의 패키징(packaging)에 관한 것이다. 보다 상세하게는 폴리머 물질을 중간층으로 하여 광스위치가 제작된 기판과 광파이버를 고정할 수 있는 기판을 접합하는 패키징 기술에 관한 것이다.최근 미소기전소자(MEMS) 기술을 이용한 소자들이 개발되어 상품화가 이뤄지게 됨에 따라 패키징에 대한 기술 개발이 가속화되고 있다. 특히, 광소자는 광손실을 줄일 수 있도록 패키징하는 것이 주요 기술로 다양한 방식이 시도되었다. 그러나, 아직 소자 단위의 패키징은 가시적인 결과를 보이지 않고 있다.본 발명에 의하면, 반사판의 거울면을 구동하기 위한 구동기(20)가 설치되어 있는 하부기판(10)과; 광파이버의 삽입 통로를 갖는 폴리머(40) 패턴이 형성되며, 상기 폴리머(40) 패턴의 양 내측에 구조물(30)이 설치되어 있는 상부기판(50)과; 상기 하부기판(10) 상에 상부기판(50)이 결합되어 광파이버의 삽입 통로를 통해 광파이버(60)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 광스위칭 장치의 패키징을 제공한다.따라서, 본 발명에 의한 광스위칭 장치의 패키징에 따르면, 광스위칭 장치를 패키징 할 경우 외부 환경에 의해 영향을 받지 않는 안정적인 동작을 보장할 수 있다. 또한, 추가적인 정밀한 정렬 공정 없이도 반사 거울면과 광파이버를 정렬할 수 있다.폴리머, 접합, MEMS, 광스위치, 패키징
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01)
출원번호/일자 1020010066263 (2001.10.26)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0402992-0000 (2003.10.13)
공개번호/일자 10-2003-0034611 (2003.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20031023) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.10.26)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 경기도 남양주시
2 채경수 대한민국 서울특별시 은평구
3 강호관 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2001-0276039-46
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2001.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2001-0297010-60
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2002.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-5061214-27
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2003-0024187-29
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0237390-14
8 의견서
Written Opinion		 2003.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2003-0312340-99
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2003-0312342-80
10 등록결정서
Decision to grant		 2003.10.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0398576-96
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
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광스위칭 장치의 패키징 구조에 있어서,

반사판의 거울면을 구동하기 위한 구동기(20)가 설치되어 있는 하부기판(10)과;

광파이버의 삽입 통로를 갖는 폴리머(40) 패턴이 형성되며, 상기 폴리머(40) 패턴의 양 내측에 기계적인 구조물(30)이 설치되어 있는 상부기판(50)과;

상기 하부기판(10) 상에 유리기판으로 형성된 상부기판(50)이 결합되어 상기 광파이버의 삽입 통로를 통해 광파이버(60)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 광스위칭 장치의 패키징

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