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초소형 광스위칭 장치

  • 기술번호 : KST2014003608
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초소형 광스위칭 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 미소기전소자(MEMS) 기술 중 자외선-리가(UV-LIGA) 공정 기술을 이용하여 저전압 대변위 구동이 가능케 하는 초소형 광스위칭 장치에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 절연층(20)과 하부전극(30)의 패턴이 반도체기판(10)의 상부에 순차적으로 적층되고, 상기 절연층(20) 상부의 일측에는 소정 길이를 갖는 상부전극(40)의 일부만이 접합되며, 접합되지 않은 상기 상부전극(40)에는 도금된 연결부(50)의 일부만이 거울면(60)의 바닥면과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 초소형 광스위칭 장치가 제시된다.따라서, 본 발명에 의한 초소형 광스위칭 장치는 구조적 특성으로 인해 저전압 대변위 구동이 가능하므로 N × N 광스위치로의 응용이 가능하다.MEMS, 광스위치, UV-LIGA, 거울면
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01)
출원번호/일자 1020010066262 (2001.10.26)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0402991-0000 (2003.10.13)
공개번호/일자 10-2003-0034610 (2003.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20031023) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.10.26)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 경기도 남양주시
2 채경수 대한민국 서울특별시 은평구
3 정대석 대한민국 서울특별시 은평구
4 강호관 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2001-0276038-01
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2001.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2001-0296993-36
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2002.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-5061213-82
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2003-0024186-84
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0234113-70
8 의견서
Written Opinion		 2003.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2003-0312097-98
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.08.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2003-0312099-89
10 등록결정서
Decision to grant		 2003.10.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0398575-40
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
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초소형 광스위칭 장치에 있어서,

절연층(20)과 하부전극(30)의 패턴이 반도체기판(10)의 상부에 순차적으로 적층되고, 상기 절연층(20) 상부의 일측에는 소정 길이를 갖는 상부전극(40)의 일부만이 접합되며, 접합되지 않은 상기 상부전극(40)에는 전기 도금된 연결부(50)의 일부만이 거울면(60)의 바닥면과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 초소형 광스위칭 장치

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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.