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미러 반사를 이용한 수평 구조형 노광장치

  • 기술번호 : KST2014003610
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미러 반사를 이용한 수평 구조형 노광장치에 관한 것이다. 특히, 미소기전소자(MEMS) 기술을 이용하여 3차원 미소구조체를 제조할 수 있도록 하는 평행 노광장치에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 노광장치에 구동 전원을 공급하기 위한 전원공급장치와; 평행광 램프를 냉각시키기 위한 램프냉각장치와; 내부에 구비된 각각의 반사 미러를 통해 직진성이 높은 평행광의 출력을 얻기 위한 수직 길이를 갖는 수평 구조의 노광장치 경통과; 상기 노광장치의 경통을 통해 출력된 평행광을 이용하여 노광 공정을 진행하는 척과; 상기 척을 회전 구동을 위한 모터와; 상기 척의 진공 상태를 유지하기 위한 진공장치와; 상기 척의 회전 상태의 범위를 제어하기 위한 컴퓨터장치를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미러 반사를 이용한 수평 구조형 노광장치가 제시된다.따라서, 본 발명에 따르면 직진성이 높은 평행광을 얻기 위해 경통내의 미러반사를 이용하여 수평구조형 노광장치를 제공함으로서 경통내의 미러반사를 이용하기 때문에 종래의 높은 수직 구조형 노광장치를 수평 구조형 노광장치로 변형할 수 있으므로 설치 장소적인 문제를 해결할 수 있다.MEMS, 초저속 경사회전 노광장치, 혼모양 3차원 미소구조 안테나
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70191(2013.01) G03F 7/70191(2013.01) G03F 7/70191(2013.01)
출원번호/일자 1020010035360 (2001.06.21)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0401553-0000 (2003.10.01)
공개번호/일자 10-2002-0097426 (2002.12.31) 문서열기
공고번호/일자 (20031017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.06.21)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 경기도남양주시
2 박종연 대한민국 서울특별시송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2001-0149461-55
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2002.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-5061207-18
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.02.20 수리 (Accepted) 9-1-2003-0004676-86
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0059946-79
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2003-0133528-76
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2003-0180893-17
9 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2003.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2003-0192552-89
10 보정통지서
Request for Amendment		 2003.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2003-0036416-56
11 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2003-0215850-64
12 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2003-0263728-61
13 의견서
Written Opinion		 2003.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2003-0310901-56
14 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.08.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0310917-86
15 등록결정서
Decision to grant		 2003.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0353059-15
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

노광장치에 구동 전원을 공급하기 위한 전원공급장치와;

평행광 램프를 냉각시키기 위한 램프냉각장치와;

내부에 미러각도 보정기를 구비하는 각각의 반사 미러를 통해 직진성이 높은 평행광의 출력을 얻기 위한 수직 길이를 갖는 수평 구조의 노광장치 경통과;

상기 노광장치의 경통을 통해 출력된 평행광을 이용하여 노광 공정을 진행하는 척과;

상기 척을 회전 구동을 위한 모터와;

상기 척의 진공 상태를 유지하기 위한 진공장치와;

상기 척의 회전 상태의 범위를 제어하기 위한 컴퓨터장치를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미러 반사를 이용한 수평 구조형 노광장치

2 2

삭제
3 3

청구항 1에 있어서, 상기 노광장치의 경통 내부에는 클리메이팅 렌즈가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 미러 반사를 이용한 수평 구조형 노광장치

4 4

청구항 1에 있어서, 상기 노광장치의 광원은 자외선(Ultraviolet) 또는 엑사이머 레이저(Excimer laser)를 사용하는 것을 특징으로 하는 미러 반사를 이용한 수평 구조형 노광장치

5 5

청구항 1에 있어서, 상기 노광장치에서 노광되는 광원의 파워(power) 세기를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 미러 반사를 이용한 수평 구조형 노광장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.