| 요약 |
본 발명은 3차원 원형 혼안테나가 결합된 영상 감지소자에 관한 것이다. 특히, 미소기전소자(MEMS)기술을 이용하여 3차원 수신 안테나와 감지 소자를 만들고 이들을 결합시킴으로써 감지 소자의 감지도를 향상시키도록 하는 이미지 감지소자에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 반도체기판(10) 상부에는 혼안테나 구조체(20)가 지지대(30a)(30b)에 의해 지지되고, 상기 혼안테나 구조체(20)의 중앙부에는 혼안테나의 웨이브가이드(25)가 형성되며, 상기 웨이브가이드(25)의 하부에는 감지소자(40)가 형성되어 있으며, 상기 감지소자(40)에는 웨이브가이드(25)의 폭과 동일한 크기의 흡수층(50)과 웨이브가이드(25)의 폭 보다 큰 길이를 갖는 열적고립다리(60)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 3차원의 혼 안테나가 결합된 영상 감지소자가 제공된다.따라서, 본 발명에 따르면 우수한 지향성을 갖는 3차원 원형 혼 안테나를 감지 소자와 결합함으로써 지향성을 향상시켜서 어레이에서 각 필셀간의 누화(Crosstalk)를 줄일 수 있다. 또한, 원형 웨이브가이드는 고역통과 필터 작용을 하여서 S/N 값을 높여서 감지도 향상시킨다. 또한, 소자의 크기가 줄어들게 됨으로서 소비 전력을 줄일 수 있다.원형 혼안테나, 영상감지소자, 열적고립구조, 웨이브가이드, 열시정수, 감지도, 흡수층
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