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웨이브가이드형 안테나가 결합된 영상 감지소자의제조방법

  • 기술번호 : KST2014003613
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3차원의 수신 안테나 어레이 구조의 일체형 이미지 감지소자에 관한 것이다. 특히, MEMS 기술을 이용하여 3차원 수신 안테나와 감지 소자를 만들고 결합시킴으로써 감지소자의 감지도를 향상시키도록 하는 웨이브가이드형 안테나가 결합된 영상 감지소자의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 반도체기판 상부에 금속막을 증착하는 단계와; 상기 금속막 상부에 소정 두께의 감광막을 도포하는 단계와; 노광마스크를 이용한 패터닝 공정을 진행하여 상기 금속막 상부에 감광막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 결과물의 전표면에 무전해도금 기술을 이용하여 도전막을 증착하는 단계와; 상기 도전막 사이에 형성된 감광막 패턴을 제거하는 단계와; 상기 도전막을 제외한 금속막의 분리 공정을 거쳐 웨이브가이드 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 웨이브가이드형 안테나가 결합된 영상 감지소자의 제조방법이 제시된다.따라서, 본 발명에 의하면 원통형의 안테나를 감지소자에 결합함으로써 안테나의 지향성을 이용해서 감지도를 향상시킬 수 있다. 또한, 원통의 지름을 감지 소자의 크기에 맞게 원활히 선택할 수 있어서 안테나 제작 공정이 수월해진다.웨이브가이드 안테나, 영상 감지소자, 감지도, 원통형
Int. CL H01L 27/146 (2006.01)
CPC H01L 27/14679(2013.01)
출원번호/일자 1020010028894 (2001.05.25)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0395243-0000 (2003.08.07)
공개번호/일자 10-2002-0090398 (2002.12.05) 문서열기
공고번호/일자 (20030821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.05.25)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 경기도남양주시
2 김근태 대한민국 경기도고양시일산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2001-0122424-00
2 신규성(출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Certificate of Novelty(Special Provisions for Application)		 2001.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2001-5151664-58
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2002.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-5061202-80
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.12.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.01.17 수리 (Accepted) 9-1-2003-0002277-25
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0028142-62
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.03.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0106280-15
9 의견서
Written Opinion		 2003.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2003-0106271-15
10 등록결정서
Decision to grant		 2003.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0302815-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

3차원 수신 안테나 어레이 구조의 일체형 영상 감지소자의 제조방법에 있어서,

반도체기판 상부에 금속막을 증착하는 단계와;

상기 금속막 상부에 소정 두께의 감광막을 도포하는 단계와;

노광마스크를 이용한 패터닝 공정을 진행하여 상기 금속막 상부에 감광막 패턴을 형성하는 단계와;

상기 결과물의 전표면에 무전해도금 기술을 이용하여 도전막을 증착하는 단계와;

상기 도전막 사이에 형성된 감광막 패턴을 제거하는 단계와;

상기 도전막을 제외한 금속막의 분리 공정을 거쳐 웨이브가이드 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 영상 감지소자의 제조방법

2 2

청구항 1에 있어서, 상기 감광막의 두께는 100 - 200 ㎛ 높이를 갖도록 도포하는 것을 특징으로 하는 영상 감지소자의 제조방법

3 3

청구항 1에 있어서, 상기 웨이브가이드형 구조체는 원통형으로 제조되며, 상기 웨이브가이드 내부에 감지소자가 삽입 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 영상 감지소자의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.