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원자의 확산이 쉬운 물질로 배선을 형성하고, 상기 배선의 양극측은 원자의 확산이 어려운 물질로 형성하는 제1과정과; 상기 배선 위에 전기 전도성이 없는 물질로 이루어진 박막을 형성하는 제2과정과; 상기 배선에 전류를 인가하고, 상기 배선의 길이 또는 상기 배선에 흐르는 전류밀도를 변화시키면서, 상기 배선의 양극측에 발생하는 압축응력에 의한 상기 박막의 파괴여부를 조사하는 제3과정으로; 이루어진 박막의 파괴강도 시험방법
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제1항에 있어서, 상기 제1과정은, 원자의 확산이 쉬운 물질로 배선을 형성하고, 상기 배선의 양극측은 원자의 확산이 어려운 물질로 형성하고, 상기 배선의 음극측은 원자의 확산이 어려운 물질로 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제1항에 있어서, 상기 제1과정은, 원자의 확산이 쉬운 물질로 배선을 형성하고, 상기 배선의 양극측은 원자의 확산이 어려운 물질로 형성하고, 상기 배선의 음극측은 상기 배선의 재료와 동일한 물질에 의해 상기 배선의 폭에 비해 큰 폭의 패드를 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제1항에 있어서, 상기 제1과정은 원자의 확산이 쉬운 물질로 2층의 배선을 형성하고, 상기 2층의 배선 사이의 층간을 전기적으로 연결하는 부분은 원자의 확산이 어려운 물질로 형성하는 과정이고, 상기 제2과정은 상기 2층의 배선중 윗층의 배선 위에 전기 전도성이 없는 물질로 이루어진 박막을 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제4항에 있어서, 상기 제1과정은 원자의 확산이 쉬운 물질로 2층의 배선을 형성하고, 상기 배선중 윗층 배선은 하나의 패드에 각각 길이가 상이한 수 개의 배선을 길이의 순서대로 형성하고, 상기 배선중 아래층 배선은 하나의 패드에 각각 길이가 상이한 수개의 배선을 상기 윗층 배선의 길이에 맞추어 그 길이의 합이 동일한 값이 되도록 형성하며, 윗층 배선과 아래층 배선의 층간을 전기적으로 연결하는 부분은 원자의 확산이 어려운 물질로 형성하는 과정인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제1항 내지 제5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 원자의 확산이 쉬운 물질은 Al, Al합금, Cu, Cu합금, Ag, Ag합금, Au, Au합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제6항에 있어서, Al합금은 Al-Si합금, Al-Cu합금, Al-Si-Cu합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제1항 내지 제5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 원자의 확산이 어려운 물질은 W, Ta, Ta합금, Ti, Ti합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제8항에 있어서, 상기 Ta합금은 TaN인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제8항에 있어서, 상기 Ti합금은 TiN인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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제1항 내지 제5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 박막은 절연막인 것을 특징으로 하는 박막의 파괴강도 시험방법
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