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기준전극으로 사용되는 공기가 포집되어 있는 밀폐된 내부공간이 형성된 고체 전해질;상기 고체 전해질 외부의 일면에 형성된 제1전극; 상기 고체 전해질의 밀폐된 내부공간의 일면에 형성된 제2전극; 및상기 제1전극 및 상기 제2전극과 각각 연결되어 상기 고체 전해질 외부로 노출된 리드 와이어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제1항에 있어서, 상기 고체 전해질은 산소 이온 전도성이 있는 이트리아-안정화 지르코니아(YSZ:Yttria Stabilized Zriconia), perovskite oxides 및 fluorite oxides로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스센서
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기준전극으로 사용되는 수소가 포집되어 있는 밀폐된 내부공간이 형성된 고체 전해질;상기 고체 전해질 외부의 일면에 형성된 제1전극; 상기 고체 전해질의 밀폐된 내부공간의 일면에 형성된 제2전극; 및상기 제1전극 및 상기 제2전극과 각각 연결되어 상기 고체 전해질 외부로 노출된 리드 와이어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제3항에 있어서,상기 고체 전해질은 3가 산화수를 갖는 원소가 포함된 BaCeO3 , SrCeO3 및 CaZrO3로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스센서
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일면에 제 1 전극이 형성되어 있는 제 1 고체 전해질과 일면에 제 2 전극이 형성되어있는 제 2 고체 전해질을 준비하는 제 1단계;상기 제 1 고체 전해질과 상기 제 2 고체 전해질 중 어느 하나 또는 양자에 홈을 형성한 후 상기 홈에 의해 기준전극으로 활용할 공기 또는 수소가 포집될 수 있는 내부공간이 형성되도록 하는 동시에 상기 제 2 전극이 상기 내부공간의 일면에 위치하도록 상기 제1 고체 전해질과 상기 제2고체전해질을 적층하여 가스 센서 본체를 형성하는 제 2단계; 및상기 가스센서 본체를 열처리하여 상기 내부공간에 포집된 공기 또는 수소가 외부로 누출되지 않도록 상기 내부공간을 밀폐시키는 제 3단계;를 포함하는 가스센서의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 제 1 고체 전해질, 상기 제 2 고체 전해질 및 제 3 고체 전해질은 산소 이온 전도성이 있는 이트리아-안정화 지르코니아(YSZ:Yttria Stabilized Zriconia), perovskite oxides 및 fluorite oxides로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조 방법
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일면에 제 1 전극이 형성되어 있는 제 1 고체 전해질과 일면에 제 2 전극이 형성되어있는 제 2 고체 전해질 및 일정 형태의 구멍이 형성되어 있는 하나 이상의 제 3 고체 전해질을 준비하는 제 1단계;상기 제 2 고체 전해질과 상기 제 3 고체 전해질 및 상기 제 1 고체 전해질을 순차로 적층 하여 기준전극으로 활용할 공기 또는 수소가 포집될 수 있는 내부 공간을 형성하되, 상기 제 2 전극이 상기 내부공간의 일면에 위치하도록 하여 가스 센서 본체를 형성하는 제 2단계; 및상기 가스센서 본체를 열처리하여 상기 내부공간에 포집된 공기 또는 수소가 외부로 누출되지 않도록 상기 내부공간을 밀폐시키는 제 3단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 고체 전해질은 3가 산화수를 갖는 원소가 포함된 BaCeO3 , SrCeO3 및 CaZrO3로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법
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제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 2단계에 있어서, 상기 고체 전해질을 적층하기 전에 상기 제 1 전극 및 제 2 전극에 각각 리드 와이어를 연결하고 이를 상기 고체 전해질 외부로 노출되게 하는 제 2-1단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조 방법
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제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 고체 전해질, 상기 제 2 고체 전해질 및 제 3 고체 전해질은 테이프 캐스팅(Tape casting)법에 의해 가공된 시트(Sheet)형태인 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조 방법
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