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휘발성 니켈 아미노알콕사이드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용한 니켈 박막의 형성방법

  • 기술번호 : KST2014005804
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1 또는 화학식 2의 신규한 니켈 아미노알콕사이드 화합물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 니켈 선구 물질은 상온에서 고체 상태로 존재하며 증기압이 매우 높아 자성 물질 박막의 증착 또는 여러 가지 합금의 증착에 니켈의 원료 물질로서 유용하게 사용할 수 있다: 상기 식에서, m은 1 내지 3 의 정수이고, n은 2 내지 4 의 정수이며, R 및 R'은 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기이다.
Int. CL C07F 15/04 (2006.01)
CPC C07F 15/045(2013.01) C07F 15/045(2013.01)
출원번호/일자 1020030069585 (2003.10.07)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0576932-0000 (2006.04.28)
공개번호/일자 10-2005-0033737 (2005.04.13) 문서열기
공고번호/일자 (20060510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.10.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김윤수 대한민국 대전광역시유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시유성구
3 이영국 대한민국 대전광역시유성구
4 정택모 대한민국 대전광역시유성구
5 안기석 대한민국 대전광역시유성구
6 이선숙 대한민국 대전광역시중구
7 유승호 대한민국 경기도부천시원미구
8 성기환 대한민국 인천광역시연수구
9 정영숙 대한민국 경상남도마산시장군
10 한기철 대한민국 충청남도논산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2003-0373453-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.05.18 수리 (Accepted) 9-1-2005-0029965-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0412910-42
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0600687-17
6 의견서
Written Opinion		 2005.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2005-0600677-61
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.02.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0070303-50
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 니켈 아미노알콕사이드 화합물: 화학식 1 상기 식에서, m은 1 내지 3 의 정수이며, R 및 R'은 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기이다
2 2
하기 화학식 2로 표시되는 니켈 아미노알콕사이드 화합물: 화학식 2 상기 식에서, m은 1 내지 3 의 정수이고, n은 2 내지 4 의 정수이며, R 및 R'은 C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기이다
3 3
할로겐화헥사아민니켈 화합물[Ni(NH3)6X2](여기에서, X는 Cl, Br 또는 I이다)을 아미노알콕사이드의 알칼리 금속염[MOCR'2(CH2)mNR2](여기에서, M은 Li 또는 Na이고, m, R 및 R'는 제 1항에서 정의한 바와 같다)와 반응시키는 것을 포함하는, 화학식 1의 니켈 아미노알콕사이드 화합물의 제조 방법
4 4
니켈 알콕사이드 화합물 [Ni(OR")2](여기에서, R"은 메틸, 에틸, 이소프로필 또는 t-부틸이다)을 아미노알코올 화합물 [ HOC(R')2(CH2)mNR2](여기에서, m, R 및 R'는 제 1항에서 정의한 바와 같다)과 반응시키는 것을 포함하는, 화학식 1의 니켈 아미노알콕사이드 화합물의 제조 방법
5 5
제 1항 또는 제 2항의 니켈 아미노알콕사이드 화합물을 선구 물질로 사용하여 니켈 박막을 성장시키는 방법
6 6
제 5항에 있어서, 니켈 박막의 성장 온도를 250 내지 350℃ 범위로 하는 것을 특징으로 하는 방법
7 6
제 5항에 있어서, 니켈 박막의 성장 온도를 250 내지 350℃ 범위로 하는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.