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폐가스중의 과불화화합물 분해제거용 촉매와 이를 이용한 폐가스중의 과불화화합물 분해제거 방법

  • 기술번호 : KST2014006045
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거용 촉매와 이를 이용한 폐가스중의 과불화화합물 분해제거 방법에 관한 것으로서, 알루미늄산화물의 표면에 인(P) 성분을 알루미늄/인(Al/P)의 몰비 10 ∼ 100로 담지시켜 과불화화합물(Perfluoro compound; PFC) 분해제거용 촉매를 제조하고, 상기 촉매를 이용하여 반도체 제조 산업에서 발생한 폐가스를 처리함으로써 폐가스 속에 포함된 PFC를 100%의 분해하여 지구 온난화 가스인 과불화화합물이 대기중으로 방출되는 것을 방지할 수 있는 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거용 촉매와 이를 이용한 폐가스중의 과불화화합물 분해제거 방법에 관한 것이다.과불화화합물, 폐가스, 촉매 분해법
Int. CL B01J 27/18 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020056218 (2002.09.16)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0461758-0000 (2004.12.03)
공개번호/일자 10-2004-0024775 (2004.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (20041214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.09.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박용기 대한민국 대전광역시유성구
2 전종열 대한민국 대전광역시유성구
3 김희영 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2002-0302950-16
2 대리인 변경 신고서
Agent change Notification		 2004.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2004-0077508-05
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.04.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2004-0024730-57
5 등록결정서
Decision to grant		 2004.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0495622-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
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번호 청구항
1 1

알루미늄산화물의 표면에 인(P) 성분을 알루미늄/인(Al/P)의 몰비 10 ∼ 100로 담지시킨 것을 특징으로 하는 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거용 알루미늄산화물 촉매

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 알루미늄산화물이 감마알루미나(γ-Al2O3), 알루미늄 트리하이드록사이드(aluminum trihydroxide), 보에마이트(boehmite) 및 의보에마이트(pseudo-boehmite) 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거용 알루미늄산화물 촉매

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 인(P) 성분은 디암모늄하이드로포스페이트((NH3)2HPO4), 암모늄디하이드로포스페이트(NH3H2PO4), 또는 인산(H3PO4)인 것을 특징으로 하는 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거용 알루미늄산화물 촉매

4 4

제 1 항에 있어서, 상기 과불화화합물이 CF4, CHF3, CH2F2, C2F4, C2F6, C3F6, C3F8, C4F8, C4F10, NF3 및 SF6 중에서 선택된 1 종 이상의 것임을 특징으로 하는 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거용 알루미늄산화물 촉매

5 5

400 ∼ 800 ℃의 온도에서 과불화화합물을 함유한 폐가스를 수증기 존재하에서 상기 청구항 1에 따른 촉매에 통과시키는 것을 특징으로 하는 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거 방법

6 6

제 5 항에 있어서, 상기 수증기는 수증기/과불화화합물의 몰비가 1 ∼ 100 범위로 포함되는 것을 특징으로 하는 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거 방법

7 7

제 5 항에 있어서, 상기 수증기와 함께 산소를 0 ∼ 50% 농도범위로 첨가하는 것을 특징으로 하는 폐가스 중의 과불화화합물 분해제거 방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP17538824 JP 일본 FAMILY
2 TWI301077 TW 대만 FAMILY
3 US20060024226 US 미국 FAMILY
4 WO2004024320 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 AU2003241188 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
2 AU2003241188 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
3 AU2003241188 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
4 AU2003241188 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
5 CN100389857 CN 중국 DOCDBFAMILY
6 CN1681587 CN 중국 DOCDBFAMILY
7 HK1081896 HK 홍콩 DOCDBFAMILY
8 JP2005538824 JP 일본 DOCDBFAMILY
9 JP2005538824 JP 일본 DOCDBFAMILY
10 JP2005538824 JP 일본 DOCDBFAMILY
11 TW200408444 TW 대만 DOCDBFAMILY
12 TWI301077 TW 대만 DOCDBFAMILY
13 US2006024226 US 미국 DOCDBFAMILY
14 WO2004024320 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
15 WO2004024320 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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