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박막 시료의 두께를 측정하는 일체형 박막 두께 측정기에 있어서, 방사선 선원부와, 상기 방사선 선원부에서 나와 박막 시료에서 후방산란한 감마선을 검출하는 CsI(Tl) 섬광체를 구비한 검출부; 상기 섬광체 내의 빛을 전자 증폭하여 전기적 신호로 변환하는 광전자증배관(PMT)과, 변환된 전기적 신호를 증폭하고 선별하여 상기 산란 감마선의 수를 출력하는 전자회로를 구비한 몸통부; 외부로부터 전원이 공급되고, 상기 전자회로의 출력을 받아 외부로 출력하는 컨넥터를 구비한 연결부;를 포함하고, 여기서, 상기 전자회로는 전기적 신호를 증폭하는 프리앰프 및 앰프; 및 증폭된 전기적 신호를 받아 디지털 신호를 출력하는 선별기;를 구비하고, 상기 몸통부는 상기 PMT에 고전압을 공급하는 고전압공급장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기
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제 1 항에 있어서, 상기 검출부, 프리앰프 및 앰프, 선별기, 고전압공급장치, 연결부는 길이방향으로 연장하는 중공형 몸통부 내에 일렬로 배치되고, 상기 방사선 선원부는 상기 CsI(Tl) 섬광체의 일단에 형성된 홈에 장착되는 것을 특징으로 하는 일체형 박막 두께 측정기
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 방사선 선원부는 상기 두께 측정기를 사용할 경우에만 열리는 텅스텐 차폐체;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 검출부는 상기 CsI(Tl) 섬광체를 밀봉하는 알루미늄 케이스;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 박막 두께 측정기는 상기 몸통부의 외곽을 감싸는 스텐레스 케이스;를 더 포함하고, 상기 몸통부는 상기 스텐레스 케이스와 상기 전자회로 사이에 배치된 아크릴 보호대; 및 상기 아크릴 보호대와 직선상으로 배치되어 상기 전자회로를 고정하는 테프론 고정대;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기
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제 4 항에 있어서, 상기 CsI(Tl) 섬광체는 원통형 섬광체를 凹자 형태로 성형한 것이고, 상기 성형된 섬광체는 실리콘 오일과 유리를 사용하여 상기 알루미늄 케이스 내부에 완전히 밀봉된 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 프리앰프 및 앰프의 증폭도는 가변저항의 조정에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 전자회로는 레벨계;를 더 포함하고, 상기 선별기의 레벨은 상기 레벨계의 가변저항의 조정에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 연결부의 입력신호는 ±12V 및 +5V의 전원이고 출력신호는 +5V의 디지털 신호인 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 일체형 박막 두께 측정기
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CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정 방법에 있어서, 감마선을 박막 시료에 입사시키는 제 1 과정; 상기 박막 시료에서 후방산란하여 CsI(Tl) 섬광체로 돌아온 상기 감마선이 소멸되면서 상기 섬광체에서 섬광이 발생되면, 상기 섬광을 전기적 신호로 바꾸는 제 2 과정; 상기 전기적 신호를 증폭시키는 제 3 과정; 상기 증폭된 전기적 신호를 디지털 신호로 전환하는 제 4 과정; 상기 디지털 신호를 카운트하여 상기 박막 시료의 두께를 결정하는 제 5 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 두께 측정 방법
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일체형 박막 두께 측정기의 제조 방법에 있어서, CsI(Tl) 섬광체의 일단에 홈을 파고, 상기 섬광체를 밀봉한 후 상기 홈에 방사선 선원을 장착하여 검출부를 형성하는 제 1 과정; 상기 CsI(Tl) 섬광체의 타단에 광전자증배관(PMT)을 장착하고, 전자회로 기판을 상기 PMT에 PMT 콘넥터로 연결하고, 상기 기판에 고전압공급장치를 연결하여 몸통부를 형성하는 제 2 과정; 상기 고전압공급장치에 박막 두께 측정기 외부와의 컨넥터를 장착하여 연결부를 형성하는 제 3 과정; 상기 몸통부를 스텐레스 케이스로 감싸는 제 4 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 CsI(Tl) 섬광체는 알루미늄 케이스 내부에 장착되어 밀봉되는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 PMT는 뮤 메탈 케이스 내부에 장착되는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 전자회로 기판은 아크릴 보호대로 절연시키고 알루미늄 호일로 감싸지며, 상기 아크릴 보호대와 직선상으로 테프론 고정대를 배치하여 상기 전자회로 기판을 고정시키는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 고전압공급장치는 아크릴 보호대로 절연시키고 테프론 고정대를 이용하여 상기 스텐레스 케이스에 고정시키는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 고전압공급장치와 상기 연결부 사이에 용수철을 장착하여 상기 PMT와 상기 섬광체를 완전히 밀착시키도록 한 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 검출부와 상기 몸통부는 나사를 이용하여 연결하고, 연결 부위의 빛 차단을 위하여 오일링을 사용하는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 몸통부와 상기 연결부는 나사를 이용하여 연결하고, 연결 부위의 빛 차단을 위하여 오일링을 사용하는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 몸통부와 상기 연결부는 나사를 이용하여 연결하고, 연결 부위의 빛 차단을 위하여 오일링을 사용하는 것을 특징으로 하는 CsI(Tl) 섬광체를 이용한 박막 두께 측정기의 제조 방법
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