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전자를 방출하는 음극(5)과 음극(5)으로부터 양극(10)으로 방출되는 전자빔을 집속하는 집속 전극(2)을 구비한 전자총에 있어서, 상기 음극(5)과 양극(10) 사이에 전자빔의 모양을 조절하는 조절 전극(1)과, 조절 전극(1)과 집속 전극(2) 사이에 전자빔의 모양 조절을 위한 전원을 공급하는 전자빔 조절 전극 전원부(15)를 포함하여 구성한 것을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총
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제 1 항에 있어서, 상기 전자빔 조절 전극 전원부(15)의 전원 출력단에 펄스 형태의 전원을 출력하기 위한 스위치가 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총
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제 1 항에 있어서, 상기 조절 전극(1)은 원통형으로 형성되되, 상기 음극(5)으로부터 출력되는 전자빔의 손실을 줄이기 위하여 상기 양극(10) 방향으로 중앙에 개구공이 형성된 것을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총
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제 1 항에 있어서, 상기 조절 전극(1)은 상기 집속 전극(2)과 양극(10) 사이에 형성한 것을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총
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음극(5)으로부터 양극(10)으로 방출되는 전자빔을 집속하는 집속 전극(2)을 구비하고, 집속 전극(2)과 양극(10) 사이에 전자빔의 모양을 조절하는 조절 전극(1)을 구비한 삼극관형 대전류 전자총의 구조로서, 원판형의 세라믹판(9)에 볼트 결합되며 필라멘트(4)의 두 전극을 각각 지지하는 필라멘트 지지대(3)와, 음극 카트리지(6)에 삽입 고정된 원통형의 음극(5)과, 상기 세라믹판(9)에 볼트 결합되며, 상기 음극(5)이 고정된 음극 카트리지(6)를 상기 필라멘트 지지대(3)의 외부에서 지지하고 상기 필라멘트(4)의 열을 차폐하는 음극 지지대(7)와, 상기 세라믹판(9)에 상기 음극 지지대(7)와 같이 볼트 결합되며, 음극 지지대(7)의 외부에서부터 전자빔의 출력 방향으로 형성되어 전자 빔을 집속하는 집속 전극(2)과, 상기 세라믹판(9)에 볼트 결합되며, 전자빔의 출력 방향으로 상기 집속 전극(2) 후단에 개구공을 갖는 원통형의 조절 전극(1)과, 상기 세라믹판(9)의 외주부위에 볼트 결합되며, 전자빔의 출력 방향으로 조절 전극(1) 후단에 개구공을 갖는 원통형의 양극(10)을 포함하여 형성한 것을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총
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제 5 항에 있어서, 상기 집속 전극(2)과 양극(10) 사이에 전자빔을 인출하기 위한 전원을 공급하는 전자빔 인출 전원부(12)와, 상기 필라멘트(4)의 두 필라멘트 지지대(3)간에 필라멘트 가열을 위한 전원을 공급하는 필라멘트 가열 전원부(13)와, 상기 집속 전극(2)과 일측 필라멘트 지지대(3) 사이에 음극 가열을 위한 전원을 공급하는 음극 가열 전원부(14)와, 상기 조절 전극(1)과 집속 전극(2) 사이에 전자빔의 조절을 위한 전원을 공급하는 전자빔 조절 전극 전원부(15)를 연결하기 위한 전기 연결부(11)를 상기 세라믹판(9)의 배면에 형성한 것을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총
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7
제 5 항에 있어서, 상기 두 개의 필라멘트 지지대(3)를 중간에서 상호 연결하여 필라멘트(4)의 열을 차폐하는 축방향 열차폐막(8)을 더 포함하여 형성한 것을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총
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8
제 5 항에 있어서, 고전압 절연성을 좋게 하기 위하여 상기 세라믹판(9)의 양면에 다수의 홈(9a)을 원형으로 형성한 것을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총
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음극(5)으로부터 양극(10)으로 방출되는 전자빔을 집속하는 집속 전극(2)을 구비하고, 집속 전극(2)과 양극(10) 사이에 전자빔의 모양을 조절하는 조절 전극(1)을 구비한 삼극관형 대전류 전자총에서의 전자빔 출력 제어 방법으로서, 출력 전자빔의 인출 전류를 증가시키기 위하여 상기 조절 전극(1)의 전압을 상기 음극(5) 전압보다 높게 유지하는 단계와; 출력 전자빔의 인출 전류를 감소시키기 위하여 상기 조절 전극(1)의 전압을 상기 음극(5) 전압과 비슷하게 공급하는 단계와; 출력 전자빔을 펄스 운전하기 위하여 상기 조절 전극(1)의 전압을 상기 음극(5)보다 낮게 계속 유지하여 전자빔 인출을 계속 중지시키다가 소정 시간 동안만 상기 음극(5)보다 높은 전압을 상기 조절 전극(1)에 인가하여 그 순간만 전자빔이 인출되도록 반복하는 단계와; 출력 전자빔을 집속시켜서 그 크기를 줄이기 위해서 상기 조절 전극(1)과 양극(10)간의 전기장이 상기 음극(5)과 조절 전극(1)간의 전기장 보다 더 크도록 유지하는 단계와; 출력 전자빔을 발산시켜서 그 크기를 키우기 위해서 상기 조절 전극(1)과 양극(10)간의 전기장이 상기 음극(5)과 조절 전극(10)간의 전기장 보다 작도록 유지하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 출력 제어가 가능한 삼극관형 대전류 전자총의 제어 방법
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