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반도체 소자 제조용 진공 장치의 파이프 막힘 진단장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014006487
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치 및 방법에 관한 것으로, 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽을 향해 발사되어 이로부터 반사된 초음파 신호를 감지한 감지신호로부터 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하되, 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽으로부터 반사된 초음파 신호의 진폭을 비교함에 의해 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하도록 구현하여 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부 또는 오염 정도를 반도체 소자 제조용 진공장치로부터 파이프를 해체하지 않고도 정확하게 진단할 수 있도록 한 것이다. 반도체 소자, 진공장치, 파이프 막힘, 초음파
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01) H01L 21/67253(2013.01)
출원번호/일자 1020040058333 (2004.07.26)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0609861-0000 (2006.07.31)
공개번호/일자 10-2006-0009666 (2006.02.01) 문서열기
공고번호/일자 (20060808) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.07.26)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 대전광역시 유성구
2 임종연 대한민국 대전광역시 유성구
3 신용현 대한민국 대전광역시 유성구
4 정광화 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2004-0331851-32
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.12.02 수리 (Accepted) 9-1-2005-0079526-51
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0624725-63
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0090007-62
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0161784-52
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.04.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0239365-97
9 의견서
Written Opinion		 2006.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2006-0239357-21
10 등록결정서
Decision to grant		 2006.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0393449-48
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 외벽에 부착되어 파이프 내벽을 향해 초음파를 발사하고, 상기 파이프 내벽으로부터 반사된 초음파를 감지하는 초음파 센서와;상기 초음파 센서에 의해 감지된 아날로그 신호를 수신하는 펄스 송수신기와;상기 펄스 송수신기에 의해 출력된 파이프 내벽으로부터 반사된 초음파 신호의 진폭 비교를 통해 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하는 진단 수단을;포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 진단 수단이: 상기 펄스 송수신기에 의해 수신된 아날로그 신호를 디지탈 신호로 변환하는 AD변환기와; 상기 AD변환기에 의해 변환된 디지탈 신호를 메모리에 저장된 룩업 테이블(Lookup Table) 데이타와 비교하여 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하는 컴퓨터를; 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치
4 4
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프는:반도체 소자 제조용 진공장치 내부로 가스를 주입하기 위한 가스주입용 배관인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치
5 5
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프는:반도체 소자 제조용 진공장치 내부로부터 가스를 배출하여 진공 압력을 조절하기 위한 가스배출용 배관인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치
6 6
제 2항에 있어서,상기 반도체 소자 제조용 진공장치는:화학 증착용 장비인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치
7 7
제 2항에 있어서, 상기 반도체 소자 제조용 진공장치는:원자층 증착용 장비인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치
8 8
제 2항에 있어서,상기 반도체 소자 제조용 진공장치는:식각용 장비인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치
9 9
삭제
10 10
반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 외벽에 부착되어 파이프 내벽을 향해 초음파를 발사하는 초음파 발사단계와;상기 파이프 내벽으로부터 반사된 아날로그 초음파 신호를 감지하는 반사파 감지단계와;상기 반사파 감지단계에 의해 감지된 파이프 내벽으로부터 반사된 초음파 신호의 진폭 비교를 통해 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하는 진단단계를;포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단방법
11 11
제 10항에 있어서,상기 진단단계가:상기 반사파 감지단계에 의해 감지된 아날로그 신호를 디지탈 신호로 변환하는 신호 변환단계와;상기 신호 변환단계에 의해 변환된 디지탈 신호를 메모리에 저장된 룩업 테이블(Lookup Table) 데이타와 비교하여 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하는 데이타 비교단계를;포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단방법
12 11
제 10항에 있어서,상기 진단단계가:상기 반사파 감지단계에 의해 감지된 아날로그 신호를 디지탈 신호로 변환하는 신호 변환단계와;상기 신호 변환단계에 의해 변환된 디지탈 신호를 메모리에 저장된 룩업 테이블(Lookup Table) 데이타와 비교하여 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하는 데이타 비교단계를;포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.