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플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 탄소불순물 생성진단 방법 및 진단 장치

  • 기술번호 : KST2014006501
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 탄소불순물 생성 진단방법 및 진단장치에 관한 것으로, 플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 해당 유기금속 전구체의 탄소불순물의 기준 분광 데이터를 컴퓨터에 저장하는 단계(S1000), 반응로 내에 형성된 플라즈마로 기화된 유기금속 전구체를 주입하여 분해하는 단계(S2000), 상기 플라즈마 및 해리된 상기 유기금속 전구체의 당해 분자들의 분광 데이터를 검출하고 상기 컴퓨터에 전송하는 단계(S3000), 상기 검출된 당해 분광 데이터를 상기 기준 분광 데이터와 비교하여 상기 탄소불순물의 생성 여부를 판단하는 단계(S4000) 및 상기 탄소불순물의 생성 판단에 따라 알람음향을 방출하는 단계(S4000);를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 때 상기 기준 분광 데이터는, 상기 탄소불순물이 증착된 박막으로 함입될 수 있는 탄소불순물의 크기, 상기 박막과의 화학반응 및 불완전한 분자구조를 기초로 설정되는 것이 바람직하다. 또한 분광 데이터의 검출을 위해 반응로에 광학 방출 분광기가 연결되는 진단장치 구조가 바람직하다. 탄소불순물, 전구체, 함입억제, 박막, 웨이퍼, 유기금속화학증착, 플라즈마
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C23C 16/4401(2013.01)
출원번호/일자 1020030055645 (2003.08.12)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0542243-0000 (2006.01.03)
공개번호/일자 10-2005-0017988 (2005.02.23) 문서열기
공고번호/일자 (20060111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.08.12)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 대전광역시유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시유성구
3 임종연 대한민국 대전광역시유성구
4 신용현 대한민국 대전광역시유성구
5 정광화 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2003-0296681-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.04.21 수리 (Accepted) 9-1-2005-0023347-39
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0217390-25
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2005-0372652-93
6 의견서
Written Opinion		 2005.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2005-0442255-45
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.08.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0442256-91
8 등록결정서
Decision to grant		 2005.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0655587-74
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 해당 유기금속 전구체(600a)의 탄소불순물의 기준 분광 데이터를 컴퓨터(400)에 저장하는 단계(S1000); 반응로(100) 내에 형성된 플라즈마(200a)로 기화된 유기금속 전구체(600a)를 주입하여 분해하는 단계(S2000); 상기 플라즈마(200a) 및 해리된 상기 유기금속 전구체(600a)의 당해 분자들의 분광 데이터를 검출하고, 상기 컴퓨터(400)에 전송하는 단계(S3000); 상기 검출된 당해 분광 데이터를 상기 기준 분광 데이터와 비교하여 상기 탄소불순물의 생성 여부를 판단하는 단계(S4000); 및 상기 탄소불순물의 생성 판단에 따라 알람음향을 출력하는 단계(S4000);를 포함하고;상기 기준 분광 데이터는, 상기 탄소불순물이 증착된 박막으로 함입될 수 있는 탄소불순물의 크기, 상기 박막과의 화학반응 및 불완전한 분자구조를 기초로 설정되고, 상기 불완전한 분자구조는 선형적인 사슬구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 탄소불순물 생성 진단방법
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플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위해 플라즈마 발생장치(200) 및 웨이퍼(100a)가 포함되고, 기화된 유기금속 전구체(600a)가 주입되는 반응로(100); 상기 유기금속 전구체(600a)의 해리된 분자들로부터 탄소불순물의 분광을 검출하도록 상기 반응로(100)에 배관 연결되는 분광검출수단; 설정된 상기 탄소불순물의 기준 분광 데이터와 검출된 당해 분광 데이터를 비교 처리하여 탄소불순물의 생성 여부를 판단하도록 상기 분광검출수단에 전기적으로 연결되는 컴퓨터(400); 및 상기 탄소불순물의 생성 판단에 따라 알람음향이 방출되도록 상기 컴퓨터(400)에 전기적으로 연결되는 알람발생기(500);를 포함하고;상기 컴퓨터(400)는 상기 탄소불순물이 증착된 박막으로 함입될 수 있는 탄소불순물의 크기, 증착되는 박막과의 화학반응 및 불완전한 분자구조가 상기 기준 분광 데이터로서 처리하고, 상기 불완전한 분자구조로서 선형적인 사슬구조가 데이터로 처리하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 탄소불순물 생성 진단장치
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