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전구체 수용액(700a)이 수용되고, 기화되는 상기 전구체의 기체가 수용될 수 있도록 수면 위로 일정한 공간이 형성되는 밀폐용기(700); 상기 전구체 수용액(700a)을 운반하기 위한 고압의 운반기체(100a)가 수용되는 봄베(100); 상기 운반기체(100a)가 상기 밀폐용기(700)로 이송될 수 있도록 일측은 상기 봄베(100)에 배관되고, 타측은 상기 밀폐용기(700)까지 이어지는 공급관(200); 상기 운반기체(100a)가 상기 전구체 수용액(700a)의 최저수위까지 제공되도록 일단은 상기 공급관(200)에 관이음되고, 타측은 상기 밀폐용기(700)의 높이방향을 따라 바닥면까지 배관되어 상기 전구체 수용액(700a)에 수장되는 연결관(300); 상기 운반기체(100a)가 상기 최저수위부터 수면까지 상기 전구체 수용액(700a)의 수위방향을 따라 부상할 수 있도록 상기 연결관(300)의 타단에 관이음되고, 상기 밀폐용기(700)의 바닥면에 배관되며, 표면으로 상기 운반기체(100a)의 기포가 발생될 수 있도록 다수의 통기구(400a)가 관통/형성되는 기포발생관(400); 상기 기포의 발생에 기화된 전구체를 포집할 수 있도록 상기 밀폐용기(700)의 높이방향을 따라 배치되어 일측이 상기 밀폐용기(700) 내에 배관되고, 일단은 상기 전구체 수용액(700a)의 수면 상부에 배치되는 포집관(500); 및 상기 전구체가 배출되어 화학 기상증착공정을 위한 반응기(2000)에 제공될 수 있도록 일측은 상기 포집관(500)에 관이음되고 타측은 상기 반응기(2000)에 배관되는 배출관(600);을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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제 1항에 있어서, 상기 연결관(300)은, 상기 밀폐용기(700)의 내벽면 일측에 편중되어 근접/배치되고, 상기 기포발생관(400)은 상기 연결관(300)의 타단을 기점으로 상기 밀폐용기(700)의 바닥면을 따라 대향되는 지점까지 배관되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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제 2항에 있어서, 상기 기포발생관(400)은, 상기 밀폐용기(700)의 바닥면 내주연을 따라 배관되는 폐곡선 형상인 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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제 3항에 있어서, 상기 각 통기구(400a)는, 상기 기포발생관(400)의 폐곡선 형상을 따라 외주연 상부에 일정간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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제 2항에 있어서, 상기 기포발생관(400)은, 상기 밀폐용기(700)의 바닥면을 가로질러 배관되는 직선 형상인 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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제 5항에 있어서, 상기 각 통기구(400a)는, 상기 기포발생관(400)의 직선 형상을 따라 외주연 상부에 일정간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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제 2항에 있어서, 상기 기포발생관(400)은, 상기 밀폐용기(700)의 바닥면 내주연을 따라 배관되는 폐곡선 형상을 갖고, 상기 폐곡선을 가로질러 동일높이로 배관되는 직선 형상인 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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제 7항에 있어서, 상기 각 통기구(400a)는, 상기 기포발생관(400)의 폐곡선 및 직선 형상을 따라 외주연 상부에 일정간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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제 7항에 있어서, 상기 각 통기구(400a)는, 상기 기포발생관(400)의 폐곡선 및 직선 형상을 따라 외주연 상부에 일정간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
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