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광화이버를 통한 아토믹포스마이크로스코프 탐침 광전송 방법

  • 기술번호 : KST2014006537
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광 전송방법에 관한 것으로, 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광을 전송하는 방법으로서, AFM 팁(2)의 (10㎛ ∼ 100㎛) 크기보다 더 이 빛이 퍼지기 전에 팁에 광화이버 끝을 (100㎛ ∼ 500㎛)로 근접시키고, 빛이 팁 끝에서 전부 반사되어 4-cell 포토다이오드에서 검출되게 하되 샘플과 팁의 거리가 달라지면 팁과 시편 사이에 작용하는 힘의 크기가 달라져서 팁이 위 또는 아래로 구부러지고, 그러면 팁에서 반사된 레이저 빛의 반사각도가 달라져서 포토다이오드의 상부(2개 cell), 하부(2개 cell )에 입사하는 빛의 양이 달라져 상부가 하부보다 빛의 세기가 더 커지거나 작아진다. 그러면 상부와 하부 사이의 빛의 세기 차이를 측정하여 일정한 차이를 유지하는데 이것은 팁과 시편 사이가 일정한 거리로 유지된다는 것을 의미한다. 팁을 시편의 다른 지점으로 이동시키면 시편 표면의 높이가 다르므로 팁과 시편 사이의 거리가 달라져서 팁이 위로 혹은 아래로 휘어진다. 따라서 거리를 일정하게 유지시켜 주기 위해서 팁 혹은 시편을 움직여서 거리를 일정하게 유지시킨다. 이때 움직인 거리가 결국 그 지점에서의 표면 높낮이가 되는 것이다. 그래서 시편의 측정 지점을 바꾸면서 이 높낮이를 측정하면 시편의 표면 굴곡을 측정하는 것이 아토믹 포스 마이크로스코프의 원리이다. 그런데 우리는 광화이버를 팁에 가깝게 접근시키고 반사된 빛이 포토다이오드의 중앙에 입사하도록 광화이버를 조절하기 위하여 광화이버를 스테인리스스틸 튜브 안에 넣고 접착제로 고정시켜서 광화이버를 미세하게 조절하는 것이다.
Int. CL G01B 11/30 (2006.01)
CPC G01B 11/303(2013.01) G01B 11/303(2013.01) G01B 11/303(2013.01)
출원번호/일자 1019980055279 (1998.12.16)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0287957-0000 (2001.02.01)
공개번호/일자 10-2000-0039822 (2000.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20020513) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.12.16)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김달현 대한민국 대전광역시 유성구
2 구자용 대한민국 대전광역시 유성구
3 김영주 대한민국 대전광역시 유성구
4 황찬용 대한민국 대전광역시 유성구
5 이근섭 대한민국 대전광역시 유성구
6 이세경 대한민국 대전광역시 유성구
7 김종진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 김경식 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, *층 (서초동, 모인터빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1998-0429145-15
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1998-0429146-61
3 특허출원서
Patent Application		 1998.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1998-0429144-70
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008522-00
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.25 수리 (Accepted) 4-1-1999-0038464-97
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0073381-61
7 복대리인선임신고서
Report on Appointment of Sub-agent		 2000.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2000-5207013-68
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0190489-96
9 의견서
Written Opinion		 2000.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2000-5288003-33
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.09.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5293412-11
11 의견서
Written Opinion		 2000.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2000-5293411-76
12 등록사정서
Decision to grant		 2000.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0343289-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

광화이버를 통한 디플렉션 타입 아토믹 포스 마이크로스코프(AFM) 탐침광을 전송하는 방법으로서, 원자간력현미경(AFM) 팁(2)의 (10㎛ ∼ 100㎛) 크기보다 더 이 빛이 퍼지기 전에 팁(2)에 광화이버 끝을 (100㎛ ∼ 500㎛)로 근접시키고, 빛이 팁(2) 끝에서 전부 반사되어 4-셀(cell) 포토다이오드(3)에서 검출되게 하되 샘플 (4)과 팁(2)의 거리가 달라지면 팁(2)이 상·하로 구부러지고, 그러면 팁(2)에서 반사된 레이저 빛의 반사각도가 달라져서 포토다이오드(3)의 상하 두 셀(cell)에 입사하는 빛의 양이 달라져 이 차이를 측정하여 시편의 표면 굴곡을 측정하며 광화이버(1)를 팁(2)에 가깝게 접근시키고 반사된 빛이 포토다이오드(3)의 중앙에 입사하도록 광화이버(1)를 조절하기 위하여 스테인리스스틸 튜브(5) 내부에 광화이버 (1)를 삽입하여 접착제로 고정시켜서 광화이버(1)를 조절 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광 전송방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.