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직접 액체 주입 금속 유기물 화학 증착법을 이용한 티탄산바륨스트론튬 박막의 제조 방법 (METHOD OF PREPARING BARIUM STRONTIUM TITANATE THIN

기술번호 : KST2014006750
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 직접 액체 주입 금속 유기물 화학 증착법에 의해 티탄산바륨스트론튬 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 바륨, 스트론튬 및 티타늄의 원료로서 Ba(thd)2(tmeea), Sr(thd)2(tmeea) 및 Ti(thd)2(O i Pr)2 thd = 2,2,6,6-테트라메틸헵탄디오네이트, tmeea = 트리스[2-(2-메톡시에톡시)에틸]아민, O i Pr = 이소프로폭시 각각을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 본 발명의 방법에 의하면, 고품위의 화학량론적 티탄산바륨스트론튬 박막을 보다 온화한 조건에서 제조할 수 있다.
Int. CL	C23C 16/00 (2006.01)
CPC	C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01) C23C 16/409(2013.01)
출원번호/일자	1020030057134 (2003.08.19)
출원인	한국화학연구원
등록번호/일자	10-0523987-0000 (2005.10.19)
공개번호/일자	10-2005-0019400 (2005.03.03) 문서열기
공고번호/일자	(20051026) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2003.08.19)
심사청구항수	5

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국화학연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	김윤수	대한민국	대전광역시유성구
2	이영국	대한민국	대전광역시유성구
3	김창균	대한민국	대전광역시유성구
4	정택모	대한민국	대전광역시유성구
5	오영우	대한민국	대전광역시서구
6	박정우	대한민국	서울특별시송파구
7	권현구	대한민국	경기도안성시

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	오규환	대한민국	서울특별시 강남구 강남대로 *, **호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2	장성구	대한민국	서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국화학연구원	대한민국	대전 유성구

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2003.08.19	수리 (Accepted)	1-1-2003-0304406-71
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2005.01.18	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2005.02.18	수리 (Accepted)	9-1-2005-0011535-91
4	등록결정서 Decision to grant	2005.07.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2005-0341003-13
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.16	수리 (Accepted)	4-1-2008-5059312-66
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.05.14	수리 (Accepted)	4-1-2008-5074743-27
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2008-5208083-56
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.09.14	수리 (Accepted)	4-1-2017-5149242-13
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.09.14	수리 (Accepted)	4-1-2017-5149265-52

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 직접 액체 주입 금속 유기물 화학 증착법 (DLI-MOCVD)에 의해 티탄산바륨스트론튬(BaxSr1-xTiO3) 박막을 제조함에 있어서, 바륨, 스트론튬 및 티타늄의 원료로서 Ba(thd)2(tmeea), Sr(thd)2(tmeea) 및 Ti(thd)2(O i Pr)2 {thd = 2,2,6,6-테트라메틸헵탄디오네이트, tmeea = 트리스[2-(2-메톡시에톡시)에틸]아민, O i Pr = 이소프로폭시} 각각을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는, 티탄산바륨스트론튬 박막의 제조 방법
2	2 제 1 항에 있어서, 바륨, 스트론튬 및 티타늄 원료를 유기 용매에 녹여 200 내지 250℃로 가열된 순간 기화기로 이송하여 기화시킨 후, 이를 압력 0
3	3 제 2 항에 있어서, 증착에 이어 600 내지 800 ℃에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 방법
4	4 제 1 항에 있어서, 바륨, 스트론튬 및 티타늄 원료를 1∼2:1:5∼10 의 비율로 혼합하는 것을 특징으로 하는 방법
5	5 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된 티탄산바륨스트론튬 박막
6	5 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된 티탄산바륨스트론튬 박막

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-0523987-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20030819 출원 번호 : 1020030057134 공고 연월일 : 20051026 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20050720 청구범위의 항수 : 5 유별 : C23C 16/00 발명의 명칭 : 직접 액체 주입 금속 유기물 화학 증착법을 이용한티탄산바륨스트론튬 박막의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : 20101020

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 한국화학연구원 대전 유성구...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	175,500 원	2005년 10월 20일	납입
제 4 년분	금 액	166,000 원	2008년 09월 30일	납입
제 5 년분	금 액	150,000 원	2009년 09월 28일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2003.08.19	수리 (Accepted)	1-1-2003-0304406-71
2	선행기술조사의뢰서	2005.01.18	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2005.02.18	수리 (Accepted)	9-1-2005-0011535-91
4	등록결정서	2005.07.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2005-0341003-13
5	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.16	수리 (Accepted)	4-1-2008-5059312-66
6	출원인정보변경(경정)신고서	2008.05.14	수리 (Accepted)	4-1-2008-5074743-27
7	출원인정보변경(경정)신고서	2008.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2008-5208083-56
8	출원인정보변경(경정)신고서	2017.09.14	수리 (Accepted)	4-1-2017-5149242-13
9	출원인정보변경(경정)신고서	2017.09.14	수리 (Accepted)	4-1-2017-5149265-52


기술번호	KST2014006750
자료제공기관	NTB
기술공급기관	대덕특구지원본부
기술명	직접 액체 주입 금속 유기물 화학 증착법을 이용한 티탄산바륨스트론튬 박막의 제조 방법 (METHOD OF PREPARING BARIUM STRONTIUM TITANATE THIN
기술개요	본 발명은 직접 액체 주입 금속 유기물 화학 증착법에 의해 티탄산바륨스트론튬 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 바륨, 스트론튬 및 티타늄의 원료로서 Ba(thd)2(tmeea), Sr(thd)2(tmeea) 및 Ti(thd)2(O i Pr)2 thd = 2,2,6,6-테트라메틸헵탄디오네이트, tmeea = 트리스[2-(2-메톡시에톡시)에틸]아민, O i Pr = 이소프로폭시 각각을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 본 발명의 방법에 의하면, 고품위의 화학량론적 티탄산바륨스트론튬 박막을 보다 온화한 조건에서 제조할 수 있다.
개발상태	기타
기술의 우수성
응용분야	반도체산업
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
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