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일측으로 피교정 진공게이지(230)가 연결되는 소정 체적의 진공챔버(210); 상기 진공챔버(210)내에 설치된 분동교환수단(190); 상기 진공챔버(210)내의 상기 분동교환수단(190) 하부에 설치되어 압력을 측정하는 압력표준기(222, 224); 상기 진공챔버(210)의 압력표준기(222, 224)와 연결되어 상기 진공챔버(210) 내부로 일정압력(Pm)의 가스를 공급하기 위한 가스공급수단; 상기 진공챔버(210)와 연결되어 상기 진공챔버(210) 내부를 소정의 진공으로 만들기 위한 진공펌프수단; 및 상기 진공챔버(210)와 연결되어 상기 진공챔버(210)의 내부로 압력이 가변제어되는 가스를 공급하기 위한 가변압력(Pr) 공급수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정장치
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제 1 항에 있어서, 가스공급수단은 상기 일정압력 가스의 압력(Pm)을 표시하기 위한 정밀압력 모니터(260)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 분동교환수단(190)은 10g, 20g, 20'g, 50g, 100g을 분동을 포함하는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가변압력(Pr) 공급수단은 2,000 Pa 이하에서 가스의 압력을 제어하여 공급하는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 가스공급수단은, 제 1 질소가스탱크(252); 상기 제 1 질소가스탱크(252)의 배출압력을 일정하게 하기 위한 압력제어부(254); 및 상기 압력제어부(254)와 연결된 제 1 진공펌프(250);를 구비하고, 상기 정밀압력 모니터(260)는 상기 압력제어부(254)와 압력표준기(222, 224) 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 압력표준기(222, 224)는, 상기 진공챔버(210)내에 고정되고, 일단으로 가스공급수단이 연결되는 실린더(224); 및 상부로 상기 분동이 놓여지며, 상기 실린더(224) 내에서 상하로 이송 가능한 피스톤(222);으로 구성되며, 그리고 상기 피스톤(222)과 실린더(224)의 위치를 검출하기 위한 피스톤/실린더 모니터(270)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가변압력(Pr) 공급수단은, 제 2 질소가스탱크(288); 일단이 상기 제 2 질소가스탱크(288)와 연결되고, 타단이 상기 진공챔버(210)의 내부와 연결된 조절밸브(282);로 구성되는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정장치
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진공챔버(210)내에 설치된 분동교환수단(190)을 이용하여 기지의 분동(220)을 압력표준기(222, 224)위에 올려놓는 단계(S10); 일측으로 피교정 진공게이지(230)가 연결되는 소정 체적의 진공챔버(210) 내부를 진공으로 형성하는 단계(S20); 상기 압력표준기(222, 224)로 일정한 압력(Pm)의 가스를 공급하여 상기 분동(220)과 압력표준기(222, 224)를 평형상태로 유지하는 단계(S30); 상기 분동교환수단(190)을 이용하여 놓여진 분동(220)의 일부를 제거하는 단계(S40); 상기 분동(220)과 압력표준기(222, 224)가 평형상태를 유지할 때까지 상기 진공챔버(210)의 내부로 소정 압력(Pr)의 가스를 공급하는 단계(S50); 및 평형상태가 유지될 때 상기 피교정 진공게이지(230)의 압력을 판독하여 교정하는 단계(S50);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정방법
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제 8 항에 있어서, 상기 S40 단계에서 제거되는 분동(220)은 10g, 20g, 20'g, 50g, 100g중 하나 또는 이들의 조합이며, 공급되는 가스의 압력(Pr)은 2,000Pa 이하인 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정방법
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제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 놓여진 분동(220)을 순차적으로 제거하면서 상기 S10 단계 내지 S50단계가 반복되고, 분동(220)이 모두 제거된 후에는 분동 제거의 역순으로 분동이 놓여지면서 상기 S10 단계 내지 S50단계가 더 반복되는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정방법
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제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 놓여진 분동(220)을 순차적으로 제거하면서 상기 S10 단계 내지 S50단계가 반복되고, 분동(220)이 모두 제거된 후에는 분동 제거의 역순으로 분동이 놓여지면서 상기 S10 단계 내지 S50단계가 더 반복되는 것을 특징으로 하는 저진공게이지의 교정방법
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