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유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단장치 및 진단방법

  • 기술번호 : KST2014006792
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로, 운반기체가 담긴 봄베; 일측이 봄베에 배관된 제 1파이프; 액상의 유기금속 전구체가 담기고, 운반기체가 유기금속 전구체를 버블링하여 기화하도록 제 1파이프의 타측이 유기금속 전구체에 수장되어 배관되는 용기; 일측이 유기금속 전구체의 수면 위에 배치되게 용기에 배관되어 유기금속 전구체 및 운반기체가 이송되는 제 2파이프; 제 3파이프의 타측이 배관되고 유기금속 전구체로 화학증착 공정이 수행되는 반응로; 제 2파이프 및 제 3파이프에 주입파이프 및 배출파이프로 배관되어 유입되는 유기금속 전구체를 분광하고 반응로에 배출하는 분광수단; 분광수단에 전기적으로 연결되어 전송되는 분광 데이터를 기초로 최강분자결합 대비 최약분자결합의 분광도 피크 면적비를 연산하고 설정된 기준 면적비와 비교 처리하는 컴퓨터; 기준 면적비 이하의 피크 면적비 도출에 따라 알람음향이 방출되도록 컴퓨터에 전기적으로 연결되는 알람발생기;를 포함하여 구성되어 운반 도중의 전구체를 적외선 분광/분석하여 변질됨이 판단됨에 따라 알람방출하는 것을 특징으로 한다. 이 때 분광수단은, 적외선 분광분석기인 것이 바람직하다. 전구체, 반도체, 웨이퍼, 반응로, 변질, 진단방법, 화학증착, 분광분석
Int. CL G01N 21/35 (2014.01)
CPC G01N 21/35(2013.01)
출원번호/일자 1020030055644 (2003.08.12)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0494656-0000 (2005.06.01)
공개번호/일자 10-2005-0017987 (2005.02.23) 문서열기
공고번호/일자 (20050613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.08.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 대전광역시유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시유성구
3 신용현 대한민국 대전광역시유성구
4 정광화 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2003-0296680-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.01.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.02.18 수리 (Accepted) 9-1-2005-0011846-85
4 등록결정서
Decision to grant		 2005.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0146594-99
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
운반기체(100a)가 담긴 봄베(100); 일측이 상기 봄베(100)에 배관된 제 1파이프(110); 액상의 유기금속 전구체(200a)가 담기고, 상기 운반기체(100a)가 상기 유기금속 전구체(200a)를 버블링하여 기화하도록 상기 제 1파이프(110)의 타측이 상기 유기금속 전구체(200a)에 수장되어 배관되는 용기(200); 일측이 상기 유기금속 전구체(200a)의 수면 위에 배치되게 상기 용기(200)에 배관되어 상기 유기금속 전구체(200a) 및 운반기체(100a)가 이송되는 제 2파이프(210); 제 3파이프(610)의 타측이 배관되고 내포된 웨이퍼(600a)에 대해 상기 유기금속 전구체(200a)로 유기금속화학증착 공정이 수행되는 반응로(600); 상기 제 2파이프(210)의 타단 및 제 3파이프(610)의 일단에 주입파이프(330a) 및 배출파이프(330b)로 배관되어 유입되는 상기 유기금속 전구체(200a)를 분광하고 상기 반응로(600)에 배출하는 분광수단; 상기 분광수단에 전기적으로 연결되어 전송되는 분광 데이터를 기초로 최강분자결합 대비 최약분자결합의 분광도 피크 면적비를 연산하고 설정된 기준 면적비와 비교 처리하는 컴퓨터(400); 및 상기 기준 면적비 이하의 상기 피크 면적비 도출에 따라 알람음향이 방출되도록 상기 컴퓨터(400)에 전기적으로 연결되는 알람발생기(500);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 분광수단은, 유입되는 상기 유기금속 전구체(200a)를 당해 기화온도가 유지되도록 가열하고 배출하도록 상기 주입파이프(330a) 및 배출파이프(330b)에 배관되고 축선방향을 따라 관통된 히팅블럭(330)과, 상기 히팅블럭(330)의 축선방향 양측에 결합되고 서로 평행 배치되는 제 1빔스플리터(320) 및 제 2빔스플리터(340)와, 상기 유기금속 전구체(200a)에 적외선광을 출사하도록 상기 제 1빔스플리터(320)의 전방에 설치되는 발광기(310) 및 상기 유기금속 전구체(200a)의 분광이 검출되도록 상기 발광기(310)에 대향되게 상기 제 2빔스플리터(340)의 전방에 설치되고 상기 컴퓨터(400)에 전기적으로 연결되어 검출신호를 송출하는 수광기(350)를 포함하여 구성되는 적외선 분광분석기(300)인 것을 특징으로 하는 유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단장치
3 3
액상의 유기금속 전구체(200a)를 버블링하여 기상화하는 단계(S1000); 상기 유기금속 전구체(200a)를 적외선 분광분석기(300)에 투입하고 분광 및 검출하는 단계(S2000); 상기 검출신호를 컴퓨터(400)에 전송하여 최강분자결합 대비 최약분자결합의 분광도 피크 면적비를 연산하고 설정된 기준 면적비와 비교 처리하는 단계(S3000); 및 상기 기준 면적비 이하의 상기 피크 면적비 도출에 따라 알람음향을 방출하는 단계(S4000);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단방법
4 3
액상의 유기금속 전구체(200a)를 버블링하여 기상화하는 단계(S1000); 상기 유기금속 전구체(200a)를 적외선 분광분석기(300)에 투입하고 분광 및 검출하는 단계(S2000); 상기 검출신호를 컴퓨터(400)에 전송하여 최강분자결합 대비 최약분자결합의 분광도 피크 면적비를 연산하고 설정된 기준 면적비와 비교 처리하는 단계(S3000); 및 상기 기준 면적비 이하의 상기 피크 면적비 도출에 따라 알람음향을 방출하는 단계(S4000);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.