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주사형 탐침 현미경용 나노니들팁과 그 제조 장치 및 제조 방법
- 기술번호 : KST2014006795
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 주사형 전자현미경 (scanning electron microscope; SEM) 나노니들 조작기 (nanoneedle manipulator)를 이용하여, 모체 팁의 형상에 상관없이, 상기 모체 팁에 고정되는 탄소나노튜브(canbon nanotube) 또는 나노와이어 (nanowire)와 같은 나노니들(nanoneedle) 의 방향 및 상기 모체 팁의 끝으로부터 도출되는 나노니들의 길이가 조절된, 주사형 탐침 현미경(scanning probe microscope; SPM)용 나노니들팁(nanoneedle tip)과 그 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치는, 모체 팁을 고정하고 자유도가 상대적으로 큰 모체 팁 스테이지와, 그 모체 팁에 부착될 나노니들을 고정하고, 자유도가 상대적으로 큰 나노니들 스테이지를 포함하고, 상기 스테이지들 및 상기 스테이지들을 구성하는 복수개의 요소들이 수동적으로 수평, 수직 및 회전되면서 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁을 제조하는 데에 특징이 있다. 나노 조작기, 나노니들 조작기, 탄소나노튜브 팁, 나노와이어팁, SEM, SPM |
|---|---|
| Int. CL | B82Y 40/00 (2011.01) G01Q 70/12 (2011.01) B82Y 35/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01) |
| CPC | G01Q 70/12(2013.01) G01Q 70/12(2013.01) G01Q 70/12(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020020052591 (2002.09.02) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0473791-0000 (2005.02.18) |
| 공개번호/일자 | 10-2004-0021135 (2004.03.10) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20050308) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2002.09.02) |
| 심사청구항수 | 18 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박병천 | 대한민국 | 대전광역시유성구 |
| 2 | 정기영 | 대한민국 | 대전광역시유성구 |
| 3 | 송원영 | 대한민국 | 대전광역시유성구 |
| 4 | 오범환 | 대한민국 | 대전광역시유성구 |
| 5 | 엄태봉 | 대한민국 | 대전광역시유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 손은진 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2002.09.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2002-0287183-05 |
| 2 | 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서 Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application) |
2002.09.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2002-5219264-16 |
| 3 | 우선심사신청서 Request for Accelerated Examination |
2004.03.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-5042059-25 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2004.03.30 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2004.04.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2004-0019993-29 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2004.04.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2004-0150610-47 |
| 7 | 의견서 Written Opinion |
2004.06.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0265770-50 |
| 8 | 명세서 등 보정서 Amendment to Description, etc. |
2004.06.19 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2004-0265771-06 |
| 9 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2004.08.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2004-0327993-14 |
| 10 | 의견서 Written Opinion |
2004.10.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0459606-20 |
| 11 | 명세서 등 보정서 Amendment to Description, etc. |
2004.10.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2004-0459609-67 |
| 12 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2004.10.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2004-0438507-18 |
| 13 | 명세서 등 보정서 Amendment to Description, etc. |
2004.11.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2004-0502964-59 |
| 14 | 의견서 Written Opinion |
2004.11.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0502950-10 |
| 15 | 등록결정서 Decision to grant |
2004.12.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2004-0546274-20 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2006.02.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2006-5019752-35 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 삭제 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 삭제 |
| 5 |
5 나노니들팁을 제조하는 장치에 있어서, 소정의 바닥판과, 상기 바닥판 위에 설치되고, 모체 팁을 고정하며, 상기 바닥판의 면과 나란한 수평방향으로 상기 모체 팁을 이동시키고, 상기 바닥판으로부터 수직방향으로 상기 모체 팁을 이동시키며, 상기 수평방향으로 상기 모체 팁을 회전시키는 모체 팁 스테이지와, 상기 바닥판 위에서 상기 모체팁 스테이지와 소정의 거리를 두고 설치되고, 나노니들을 고정하며, 상기 모체 팁에 대하여, 접근하고 멀어지는 제 1수평방향으로 상기 나노니들을 이동시키고, 상기 제 1수평방향에 직교하는 제 2수평방향으로 상기 나노니들을 이동시키며, 상기 바닥판으로부터 수직방향으로 상기 나노니들을 이동시키며, 상기 모체 팁의 회전축에 대하여, 상기 나노니들을 회전시키는 나노니들 팁 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치 |
| 6 |
6 제 5항에 있어서, 상기 모체 팁 스테이지는 상기 바닥판에 설치되고, 상기 제 2수평방향과 나란하게 움직이는 제 1모요소와, 상기 제 1모요소와 연동되어 설치되고, 상기 제 1수평방향으로 움직이는 제 2모요소와, 상기 제 1모요소 또는 제 2모요소와 연동되어 설치되고, 상기 수직방향으로 움직이는 제 3모요소와, 상기 제 1모요소 또는 제 2모요소 또는 제 3모요소와 연동되어 설치되고, 상기 모체 팁을 고정하는, 제 2모요소와 동일한 방향으로 미세 움직임을 갖는 제 4모요소는 제 5모요소에 부착되고, 상기 제 1수평방향으로 상기 모체팁을 회전시키는 제 5모요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치 |
| 7 |
7 제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 나노니들 팁 스테이지는 상기 바닥판에 설치되고, 수직방향으로 움직이는 제 1나요소와, 상기 제 1나요소와 연동되어 설치되고, 상기 제 1수평방향으로 움직이는 제 2나요소와, 상기 제 1나요소 또는 제 2나요소와 연동되어 설치되고, 상기 제 2방향으로 움직이는 제 3나요소와, 상기 제 1나요소 또는 제 2나요소 또는 제 3나요소와 연동되어 설치되고, 상기 나노니들을 고정하며, 상기 제 5모요소의 회전축과 나란하게, 상기 나노니들 팁을 회전시키는 제 4나요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치 |
| 8 |
8 제 6항에 있어서, 상기 제 1수평방향으로 움직이는 제 4모요소를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치 |
| 9 |
9 제 5항에 있어서, 상기 바닥판과 연결되어, 상기 모체 팁의 회전축 또는 상기 나노니들 팁의 회전축에 대하여, 상기 바닥판을 그네 운동(swing)시키는 틀을 포함는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치 |
| 10 |
10 제 9항에 있어서, 상기 바닥판은, 상기 틀과 그네 운동할 수 있도록, 상기 바닥판 양 쪽에 고정적으로 세워지는 지지대들과, 상기 바닥판의 밑면에 설치되고, 상기 틀에 대하여, 상기 바닥판의 그네 운동의 회전각을 정밀하게 조절하는 동력생성부와, 상기 어느 하나의 지지대의, 상기 바닥판의 맞은 편 끝에 부착되는 무게추를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 탄소나노튜브 팁 제조장치 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서, 상기 동력생성부는 소정의 직경을 갖고 그 원주에 톱니들이 형성된 톱니바퀴수단에 연결된 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치 |
| 12 |
12 제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 틀은, 제 1축핀에 의하여 상기 제 1지지대의 끝과 연결되는 제 1틀기둥과, 제 2축핀에 의하여, 상기 무게추가 인접하는 상기 제 2지지대의 끝과 연결되는 제 2틀기둥과, 상기 제 1틀기둥과 상기 제 2틀기둥 세워지는 틀바닥판과, 상기 제 2틀기둥의 안쪽에 부착되고, 동력생성부에 연동되어 동작는 제 2톱니바퀴를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치 |
| 13 |
13 제 5항에 있어서, 외부로부터 전자현미경 내부로 매개체(23)와 코팅막(6)을 만들기 위한 기체를 주입하는 위치에 소정의 직경을 갖는 기체관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치 |
| 14 |
14 제 1나요소에 나노니들을 부착하는 단계와, 제 2모요소에 모체 팁을 부착하는 단계와, 상기 제 1나요소 또는 제 2모요소에 대하여, 상대적으로 상기 제 2모요소 또는 제 1나요소를 수평 또는 수직 방향으로 수동적으로 이동 및/또는 수평방향에 대하여 수동적으로 회전시켜 상기 모체 팁에 상기 나노니들을 접근시키는 단계와, 상기 제 1나요소 또는 제 2모요소에 대하여, 상대적으로 상기 제 2모요소 또는 제 1나요소를 수평 또는 수직방향으로 수동적으로 이동 및/또는 수평방향에 대하여 수동적으로 회전시켜, 상기 모체 팁에 상기 나노니들을 접촉시키는 단계와, 상기 상기 모체 팁과 상기 나노니들이 접촉된 부위에 오염물을 형성하여, 상기 모체 팁에 상기 나노니들을 고정하는 단계와, 상기 모체팁의 끝으로부터 상기 나노니들의 방향과 유효돌출길이를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 15 |
15 제 14항에 있어서, 상기 모체팁에 상기 나노니들을 접근시키는 단계는, 상기 제 1나요소가 수평방향에서 상기 제 2모요소쪽으로 또는 직교하는 방향으로 이동하는 단계 또는 수직방향으로 이동하는 단계, 또는 상기 제 2모요소가 수직방향으로 이동하는 단계 또는 상기 제 1나요소쪽으로 수평방향으로 이동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 16 |
16 제 14 또는 15항에 있어서, 상기 모체팁에 상기 나노니들을 접촉시키는 단계는, 상기 제 1나요소가 상기 제 1나요소쪽으로 수평방향으로 이동하는 단계 또는 그 자체에서 회전하는 단계, 또는 상기 제 2모요소가 상기 제 1나요소에 대하여 직교하는 수평방향으로 이동하는 단계 또는 그 자체에서 회전하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 17 |
17 제 14 항에 있어서, 상기 나노니들의 방향을 조절하는 단계는 상기 모체 팁이 부착된 제 2모요소를 회전시키는 단계와, 상기 모체 팁의 끝부분과 상기 나노니들의 결합이 끝나는 부분에 오염물을 형성하는 단계를 포함하여, 상기 회전시키는 단계와 상기 오염물 형성단계를 반복적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 18 |
18 제 14 항에 있어서, 상기 유효길이를 조절하는 단계는 상기 나노니들과 결합된 상기 모체 팁에서 상기 모체 팁쪽의 소정 부분을 더 오염시는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 19 |
19 제 14 항에 있어서, 상기 나노니들 팁 부착 전,후 단계에 나노니들 팁에 부착된 오염물을 산화 또는 애싱(ashing)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 20 |
20 제 14 항에 있어서, 상기 나노니들 고정 단계전에 모체 팁과 상기 나노니들에 대하여, 상기 제 1나요소 및 상기 제 2모요소를 회전시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 21 |
21 제 14 항에 있어서, 상기 나노니들 고정단계에서 모체 팁의 끝에 매개체를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 22 |
22 제 14 항에 있어서, 상기 오염물을 형성하는 단계는 외부로부터 주입되는 기체에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 23 |
22 제 14 항에 있어서, 상기 오염물을 형성하는 단계는 외부로부터 주입되는 기체에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
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| 특허 등록번호 | 10-0473791-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20020902 출원 번호 : 1020020052591 공고 연월일 : 20050308 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20041223 청구범위의 항수 : 18 유별 : G01N 13/10 발명의 명칭 : 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁과 그 제조 장치 및 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 526,500 원 | 2005년 02월 21일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 465,000 원 | 2008년 01월 29일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 436,000 원 | 2009년 01월 02일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 436,000 원 | 2009년 12월 30일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 784,000 원 | 2011년 01월 04일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 784,000 원 | 2012년 01월 31일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 784,000 원 | 2012년 12월 07일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 1,230,000 원 | 2013년 12월 03일 | 납입 |
| 제 11 년분 | 금 액 | 1,230,000 원 | 2015년 01월 30일 | 납입 |
| 제 12 년분 | 금 액 | 1,230,000 원 | 2016년 01월 29일 | 납입 |
| 제 13 년분 | 금 액 | 1,350,000 원 | 2017년 01월 06일 | 납입 |
| 제 14 년분 | 금 액 | 1,350,000 원 | 2018년 01월 19일 | 납입 |
| 제 15 년분 | 금 액 | 675,000 원 | 2019년 01월 16일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2002.09.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2002-0287183-05 |
| 2 | 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서 | 2002.09.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2002-5219264-16 |
| 3 | 우선심사신청서 | 2004.03.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-5042059-25 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 | 2004.03.30 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 | 2004.04.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2004-0019993-29 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2004.04.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2004-0150610-47 |
| 7 | 의견서 | 2004.06.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0265770-50 |
| 8 | 명세서 등 보정서 | 2004.06.19 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2004-0265771-06 |
| 9 | 의견제출통지서 | 2004.08.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2004-0327993-14 |
| 10 | 의견서 | 2004.10.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0459606-20 |
| 11 | 명세서 등 보정서 | 2004.10.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2004-0459609-67 |
| 12 | 의견제출통지서 | 2004.10.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2004-0438507-18 |
| 13 | 명세서 등 보정서 | 2004.11.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2004-0502964-59 |
| 14 | 의견서 | 2004.11.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0502950-10 |
| 15 | 등록결정서 | 2004.12.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2004-0546274-20 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2006.02.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2006-5019752-35 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 기술번호 | KST2014006795 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국표준과학연구원 |
| 기술명 | 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁과 그 제조 장치 및 제조 방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 주사형 전자현미경 (scanning electron microscope; SEM) 나노니들 조작기 (nanoneedle manipulator)를 이용하여, 모체 팁의 형상에 상관없이, 상기 모체 팁에 고정되는 탄소나노튜브(canbon nanotube) 또는 나노와이어 (nanowire)와 같은 나노니들(nanoneedle) 의 방향 및 상기 모체 팁의 끝으로부터 도출되는 나노니들의 길이가 조절된, 주사형 탐침 현미경(scanning probe microscope; SPM)용 나노니들팁(nanoneedle tip)과 그 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치는, 모체 팁을 고정하고 자유도가 상대적으로 큰 모체 팁 스테이지와, 그 모체 팁에 부착될 나노니들을 고정하고, 자유도가 상대적으로 큰 나노니들 스테이지를 포함하고, 상기 스테이지들 및 상기 스테이지들을 구성하는 복수개의 요소들이 수동적으로 수평, 수직 및 회전되면서 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁을 제조하는 데에 특징이 있다. 나노 조작기, 나노니들 조작기, 탄소나노튜브 팁, 나노와이어팁, SEM, SPM |
| 개발상태 | 기타 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 학술연구용, 산업용 분석, 측정기 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제정보가 없습니다 |
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중요키워드
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