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희석용 순수가스가 저장되어 있는 희석가스 실린더;액상의 시료가 공급되어 액체저장부로 저장되도록 하는 액체주입부;상기 액체주입부에 접촉되어 설치되는 가열용 금속체 바디; 상기 순수가스 저장부와 상기 가열용 금속체 바디 사이에 이동용 가스라인에 의해 연통되게 설치되는 진공배기를 위한 표준가스 제조 시스템;상기 액체주입부의 출구와 이동용 가스라인에 의해 연결되는 표준가스 실린더;로 구성되는 표준가스 제조용 액체 주입장치
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제1항에 있어서,상기 가열용 금속체 바디에는 히터가 구비되는 것을 특징으로 하는 표준가스 제조용 액체 주입장치
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제1항에 있어서,상기 액체주입부는 가열용 금속체 바디의 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 표준가스 제조용 액체 주입장치
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제1항에 있어서,상기 액체주입부의 정면은 외부와 차단하기 위한 셉텀이 설치되고 그 외부는 중앙에 주입구가 있는 잠금 너트에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 표준가스 제조용 액체 주입장치
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제4항에 있어서,상기 액체 주입장치는 상기 액체주입부의 주입구를 관통하여 액상의 시료를 주입하기 위한 실린지 또는 주사기를 포함하는 것을 특징으로 하는 표준가스 제조용 액체 주입장치
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제1항에 있어서,상기 가열용 금속체와 표준가스 제조 시스템 사이에는 희석가스 및 진공배기를 조절하기 위한 조절밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 표준가스 제조용 액체 주입장치
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액체주입부, 표준가스 제조 시스템 및 표준가스 실린더를 진공화 시키는 단계;가열용 금속체 바디에 구비된 히터를 작동시키는 단계; 액상의 시료의 무게를 측정하여 주입하는 단계;기화된 액상의 시료 가스를 저장하기 위해 표준가스 실린더의 밸브를 여는 단계;조절밸브를 열어 희석가스를 투입하여 시료 가스를 희석시키는 단계;희석가스와 시료가스가 혼합되어 저장되어 있는 표준가스 실린더의 무게를 측정하는 단계;로 구성되는 표준가스 제조용 액체 주입방법
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