실린더 형상의 공간부(11) 하부에 전극(12)을 갖는 개폐가능한 밀폐형 하우징(10)과, 이 전극(12)에 위치하도록 하단에 다른 전극(21)을 가지면서 상단이 하우징(10) 윗쪽으로 돌출되어 자중으로 길이방향을 따라 하향 슬라이드 가능하도록 설치된 주축대(20)와, 내·외주면에 각각 회전방향을 달리하면서 다른 피치를 갖는 암수나사(35a,36)가 형성된 회전대(30)로 이루어지되,

상기 회전대(30)는 내주면이 주축대(20)에 치합되어 있으면서 그 외주면에는 하우징(10)에 선택적으로 고정가능한 조절부재(31)에 치합되어 있으며,

상기 주축대(20)는 조절부재(31)의 암나사(35b)와 회전부재(30)의 내주에 형성된 나사부(23)의 피치차에 의하여 미세하게 높이조절을 할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 차동 나사 피치를 이용한 미세 조절장치

제 1 항에 있어서, 상기 하우징(10)은 덮개 윗면에 주축대(20)의 슬라이드를 유도하도록 가이드돌기(14)를 갖는 가이드부재(13)가 갖추어져 있으며, 상기 가이드돌기(14)는 주축대(20)의 외주면에 형성된 장공(22)에 삽입되어 이 주축대(20)가 회전하지 않고 길이방향으로만 움직일 수 있게 한 것을 특징으로 하는 차동 나사 피치를 이용한 미세 조절장치

제 1 항에 있어서, 상기 회전대(30)는 조절부재(31)의 외주부를 감싸는 형태로 보호덮개(32)가 구비되어 있으며, 이 보호덮개(32)에는 길이측정용 눈금(33)이 형성된 것을 특징으로 하는 차동 나사 피치를 이용한 미세 조절장치

제 1 항에 있어서, 상기 조절부재(31)는 상단이 일정한 폭으로 외주면을 따라 일부구간을 제외하여 절개되고, 절개된 구간의 원주 중앙에는 수직으로 백래쉬 방지용 볼트(37)가 볼트고정되어 있는 것을 특징으로 하는 차동 나사 피치를 이용한 미세 조절장치

제 3 항에 있어서, 상기 보호덮개(32)는 외주면에 수직으로 움직이는 고정수단(34)이 갖추어져서 조절부재(31)의 외주면을 압력으로 가압하여 이 조절부재(31)에 회전대(20)를 고정시킬 수 있게 한 것을 특징으로 하는 차동 나사 피치를 이용한 미세 조절장치

제 1 항에 있어서, 상기 암나사(35a)는 왼나사로 피치가 1