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(1) 계면활성제를 에탄올에 용해시킨 용액에 비귀(非貴)금속염 및 귀금속염을 첨가,혼합하여 졸 상태의 복합금속 염화물-에탄올 전구체 용액을 제조하는 단계;(2) 상기 졸 용액을 기질의 표면 위에 코팅하는 단계; 및(3) 상기 코팅된 기질을 열처리하여 최밀충전된 균일한 크기의 나노세공형 결정성 복합금속산화물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 단계 1에서 상기 복합금속 염화물의 가수분해 반응을 촉진시키기 위해 비귀(非貴)금속/물의 몰비 1 내지 20 로 물을 추가로 첨가하는 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 단계 1에서 상기 비귀(非貴)금속염은 철, 구리, 안티몬, 바나듐, 아연, 텅스텐, 티타늄, 니오븀 및 주석으로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속의 무기 또는 유기 염임을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 단계 1에서 상기 귀금속염은 백금, 금, 팔라듐, 니켈, 루테늄, 로듐, 오스뮴, 이리듐 및 토륨으로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속의 무기 또는 유기 염임을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 귀금속염은 비귀(非貴)금속염에 대하여 0
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제 1 항에 있어서, 단계 1에서 상기 계면활성제는 유기 주형물질 중 이온성 계면활성제 또는 양쪽성 고분자 계면활성제인 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 이온성 계면활성제는 CnH2n+1N(CH3)3X, CnH2n+1N(C2H5)3X (이때, 8≤n≤22, X는 불소, 염소, 브롬 및 요오드로부터 선택된 할로겐 원소) 조성의 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 양쪽성 고분자 계면활성제는 CnH2n+1(OCH2CH2)xOH (이때, 12≤n≤23, 0≤x≤100) 조성의 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 계면활성제는 상기 복합금속 염화물 혼합 용액 100 중량부에 대하여 0
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제 1 항에 있어서, 단계 1에서 상기 졸 용액의 농도는 0
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제 1 항에 있어서, 단계 2에서 상기 기질은 유리, 실리콘, 세라믹 또는 금속인 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 단계 2에서 상기 코팅은 스프레이 분사법에 의해 100 내지 500℃의 온도범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 단계 3에서 상기 열처리는 250 내지 650℃의 온도범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 단계 3에서 상기 복합금속산화물은 N(귀금속)/MOn(비귀(非貴)금속 산화물 (여기서, 1≤n≤3) 조성의 재료인 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 단계 3에서 상기 복합금속산화물 박막 결정의 입경은 3 내지 500 nm인 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 단계 3에서 상기 복합금속산화물 박막의 총 두께는 10 내지 1,000 nm인 것을 특징으로 하는 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 따라 제조된 금속 치환 메조포러스 금속산화물 박막을 채용한 가스센서
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제 17 항에 있어서, 상기 센서는 일산화탄소, 메탄, 수소, 액화석유가스, 에탄올, 이산화탄소 및 이산화질소 검출용인 것임을 특징으로 하는 가스센서
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