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하기 화학식 1로 표시되는 에르븀 산화물 선구 물질:[화학식 1]Er[O-A-N(R3)-B-NR1R2]3[상기 식에서 A는 C2-C5의 알킬렌이고; B는 C1-C4의 알킬렌이고; 상기 A 및 B는 하나 이상의 C1-C5의 직쇄 또는 분지쇄의 알킬기로 더 치환될 수 있고; R1, R2 및 R3는 서로 독립적으로 H 또는 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기이다
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제 1항에 있어서,하기 화학식 2로 표시되는 에르븀 산화물 선구 물질
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제 2항에 있어서,상기 식에서 R1, R2, R3, R4 및 R5는 서로 독립적으로 H, CH3, C2H5, CH(CH3)2 또는 C(CH3)3로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 에르븀 산화물 선구 물질
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하기 화학식 3의 에르븀 화합물과 하기 화학식 4의 알칼리 금속 염 화합물을 반응시켜 얻어진 하기 화학식 5의 화합물을 하기 화학식 6의 알코올 화합물과 반응시키는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 에르븀 산화물 선구 물질의 제조방법
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제 1항에 따른 에르븀 산화물 선구 물질을 사용하여 에르븀 산화물을 성장시키는 방법
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제 5항에 있어서,에르븀 산화물을 유기금속 화학기상 증착법(MOCVD) 또는 원자층 증착법(ALD)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
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