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100 ∼ 500 ㎚ 세공크기를 갖는 다공성 지지체 상부에, 졸-겔 방법으로 2 ∼ 10 ㎚ 세공크기를 가지는 γ-알루미나층을 형성하는 과정과,상기한 γ-알루미나층이 형성된 지지체 상부에 초음파 진동기를 이용하여 증기화한 실리카 전구체를 823 ∼ 923 K에서 15 ∼ 60 분 동안 분무시키는 초음파 분무 열분해하면서, 동시에 지지체 하부에서는 감압공정을 수행하는 방법으로 0
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제 1 항에 있어서, 상기 γ-알루미나층 형성과정은 다공성 지지체를 알루미나 졸에 1
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제 1 항에 있어서, 상기 실리카 전구체는 테트라에틸 오르소실리케이트, 클로로실란 및 페닐에톡시실란 중에서 선택된 것을 특징으로 하는 기체분리용 세라믹 막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 세라믹 막은 수소투과도가(200 ∼ 300 ℃) 10 -8 ∼ 10 -6 mol·m-2·s-1·Pa-1이고, 질소에 대한 수소 선택도가 10 ∼ 20 인 것을 특징으로 하는 기체분리용 세라믹 막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 지지체 하부의 감압은 60 ∼ 560 mmHg 범위내에서 수행되는 것을 특징으로 하는 기체분리용 세라믹 막의 제조방법
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