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건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트

기술번호 : KST2014007795
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트에 관한 것으로서, 경사면의 표면조도 특성이 다른 재료에 비하여 상대적으로 좋은 건식필름 레지스트를 이용하여 제조되는 프리즘의 표면을 매끄럽게 하고 프리즘의 제조 오차를 줄이기 위한 V형의 홈을 갖는 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트를 개시한다. 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법은 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제1경사각으로 입사하는 자외선을 제1 경사노광하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계와, 2회의 경사노광된 건식필름 레지스트를 현상하는 단계와, 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계를 포함한다. 그에 따라, 본 발명은 프리즘시트의 경사면을 균일하게 할 수 있고, 마스크와 건식필름 레지스트 사이의 간극을 최소화함으로써 제조하고자 하는 프리즘의 금형의 치수 오차를 최소화할 수 있다.건식필름 레지스트, 경사노광, 마스크, DFR, 프리즘, 금형
Int. CL	B29C 33/38 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC	B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01)
출원번호/일자	1020050028129 (2005.04.04)
출원인	한국과학기술원
등록번호/일자	10-0619477-0000 (2006.08.28)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20060906) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2005.04.04)
심사청구항수	7

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국과학기술원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	전영균	대한민국	대전 유성구
2	이승섭	대한민국	대전광역시 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인다인	대한민국	경기도 화성시 동탄기흥로* 더퍼스트타워쓰리제층 제**호, 제*-호

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국과학기술원	대한민국	대전 유성구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2005.04.04	수리 (Accepted)	1-1-2005-0177478-70
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2006.03.31	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2006.04.14	수리 (Accepted)	9-1-2006-0026211-99
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2006.04.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0234109-01
5	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2006.06.26	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0450015-72
6	의견서 Written Opinion	2006.06.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-0449994-10
7	등록결정서 Decision to grant	2006.08.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0484233-06
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.02.01	수리 (Accepted)	4-1-2013-5019983-17
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5158129-58
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157968-69
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157993-01
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.04.24	수리 (Accepted)	4-1-2019-5081392-49
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계와;상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제1경사각으로 입사하는 자외선을 제1 경사노광하는 단계와;상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계와;상기 2회의 경사노광된 건식필름 레지스트를 현상하는 단계와;상기 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법
2	2 제 1항에 있어서, 상기 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계는,상기 마스크를 상기 건식필름 레지스트에 접촉시켜 상기 건식필름 레지스트에 정렬하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법
3	3 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계는,상기 제1경사각과 상기 수직축에 대하여 대칭이 되는 상기 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법
4	4 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계는,상기 건식필름 레지스트를 자외선 투광기판상에 부착하여 상기 마스크를 정렬하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법
5	5 제 4항에 있어서, 상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계는,상기 제1경사각과 상기 수직축에 대하여 대칭이 되는 상기 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법
6	6 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계는,상기 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속을 도포하고 니켈을 전기도금하여 니켈로 구성되는 금속금형을 제조하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법
7	7 제 6항에 있어서, 상기 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계는,상기 제1경사각과 상기 수직축에 대하여 대칭이 되는 상기 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 것을 특징으로 하는 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법
8	8 삭제
9	9 삭제
10	10 삭제

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-0619477-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20050404 출원 번호 : 1020050028129 공고 연월일 : 20060906 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060823 청구범위의 항수 : 7 유별 : B29C 33/38 발명의 명칭 : 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트 존속기간(예정)만료일 : 20090829

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 한국과학기술원 대전 유성구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	229,500 원	2006년 08월 29일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2005.04.04	수리 (Accepted)	1-1-2005-0177478-70
2	선행기술조사의뢰서	2006.03.31	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2006.04.14	수리 (Accepted)	9-1-2006-0026211-99
4	의견제출통지서	2006.04.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0234109-01
5	명세서등보정서	2006.06.26	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0450015-72
6	의견서	2006.06.26	수리 (Accepted)	1-1-2006-0449994-10
7	등록결정서	2006.08.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0484233-06
8	출원인정보변경(경정)신고서	2013.02.01	수리 (Accepted)	4-1-2013-5019983-17
9	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5158129-58
10	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157968-69
11	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157993-01
12	출원인정보변경(경정)신고서	2019.04.24	수리 (Accepted)	4-1-2019-5081392-49
13	출원인정보변경(경정)신고서	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
14	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63


기술번호	KST2014007795
자료제공기관	NTB
기술공급기관	대덕특구지원본부
기술명	건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트
기술개요	본 발명은 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트에 관한 것으로서, 경사면의 표면조도 특성이 다른 재료에 비하여 상대적으로 좋은 건식필름 레지스트를 이용하여 제조되는 프리즘의 표면을 매끄럽게 하고 프리즘의 제조 오차를 줄이기 위한 V형의 홈을 갖는 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트를 개시한다. 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법은 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제1경사각으로 입사하는 자외선을 제1 경사노광하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계와, 2회의 경사노광된 건식필름 레지스트를 현상하는 단계와, 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계를 포함한다. 그에 따라, 본 발명은 프리즘시트의 경사면을 균일하게 할 수 있고, 마스크와 건식필름 레지스트 사이의 간극을 최소화함으로써 제조하고자 하는 프리즘의 금형의 치수 오차를 최소화할 수 있다.건식필름 레지스트, 경사노광, 마스크, DFR, 프리즘, 금형
개발상태	기타
기술의 우수성
응용분야	Notebook, Computer Monitor, TV, PDA, Mobile, Nevigation, 기타 액정표시장치 조명 광원 ?
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