1 |
1
양자구조와 헴트구조가 결합된 양자구조 적외선 수광소자에 있어서, 기판과, 상기 기판 상에 형성되는 버퍼층과, 상기 버퍼층상에 형성되는 양자구조층과, 상기 양자구조층 상에 형성된 베리어층과, 상기 베리어층상의 일정영역에 형성된 소스, 드레인, 게이트전극과, 상기 양자구조층의 상하부 중 어느 한 위치에 형성된 채널층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 양자구조 적외선 수광소자
|
2 |
2
제 1항에 있어서, 제 1항에 있어서, 상기 양자구조층은 30~80Å 두께의 GaAs층과 100~600Å 두께의 AlxGa1-yAs(x,y=0
|
3 |
3
제 2항에 있어서, 상기 양자우물층과 상기 양자점층에는 전자를 공급해 주기 위한 도핑된 층이 삽입되는 것을 특징으로 하는 양자구조 적외선 수광소자
|
4 |
4
제 1항에 있어서, 상기 양자구조층은 AlxGa1-yAs/GaAs(x,y=0
|
5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 양자구조층은 InAs나 InzGa1-yAs(0〈y,z〈1) 으로 이루어지는 양자점층을 포함하는 것을 특징으로 하는 양자구조 적외선 수광소자
|
6 |
6
제 1항에 있어서, 상기 기판하부에 전압을 인가하기 위한 백게이트전극이 형성된 것을 특징으로 하는 양자구조 적외선 수광소자
|
7 |
7
제 1항에 있어서, 상기 게이트전극은 0
|