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하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개의 레이저 출력광을, 검출하는 단계;
상기 검출된 n개의 레이저 출력광을 비교하여, 상기 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 단계; 및
상기 연산된 광경로차를 고려하여, 상기 n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법
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제1항에 있어서,
광경로차를 연산하는 상기 단계는,
상기 n개의 레이저 출력광 각각이, 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점을 식별하는 단계;
상기 식별된 입사 시점들로부터 시차 정보를 생성하는 단계; 및
상기 생성된 시차 정보를 이용하여 상기 광경로차를 연산하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법
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제1항에 있어서,
광경로차를 연산하는 상기 단계는,
상기 검출된 n개의 레이저 출력광을 오실로스코프에 입력하는 단계;
상기 오실로스코프를 통해 표시되는 상기 입력된 n개의 레이저 출력광에 대한 파형을 분석하여 상기 n개의 레이저 출력광 간의 시차 정보를 생성하는 단계; 및
상기 생성된 시차 정보를 이용하여 상기 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법
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4
제1항에 있어서,
광경로를 조정하는 상기 단계는,
상기 n개의 레이저 출력광 중에서 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 먼저인 레이저 출력광의 광경로가, 상기 연산된 광경로차 만큼 증가되도록 조정하는 단계; 또는
상기 n개의 레이저 출력광 중에서, 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 나중인 레이저 출력광의 광경로가, 상기 연산된 광경로차 만큼 감소되도록 하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법
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제1항에 있어서,
광경로를 조정하는 상기 단계는,
선정된 알고리즘에 기초하여 상기 연산된 광경로차로부터 조정 신호를 생성하는 단계; 및
상기 생성된 조정 신호가 입력되는 모터의 구동에 의해 상기 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법
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제1항에 있어서,
광경로를 조정하는 상기 단계는,
상기 검출된 n개의 레이저 출력광의 입사 시점이 허용 범위 이내에서 일치하도록 동기화하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법
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7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법을 수행하는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능 기록매체
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하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개의 레이저 출력광을, 검출하는 출력광 검출수단;
상기 검출된 n개의 레이저 출력광을 비교하여, 상기 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 광경로차 연산수단; 및
상기 연산된 광경로차를 고려하여, 상기 n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 광경로 조정수단
을 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템
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제8항에 있어서,
상기 광경로차 연산수단은,
상기 n개의 레이저 출력광 각각이, 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점을 식별하고, 상기 식별된 입사 시점들로부터 시차 정보를 생성하며, 상기 생성된 시차 정보를 이용하여 상기 광경로차를 연산하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템
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10
제8항에 있어서,
상기 광경로차 연산수단은,
상기 검출된 n개의 레이저 출력광을 오실로스코프에 입력하고, 상기 오실로스코프를 통해 표시되는 상기 입력된 n개의 레이저 출력광에 대한 파형을 분석하여 상기 n개의 레이저 출력광 간의 시차 정보를 생성하며, 상기 생성된 시차 정보를 이용하여 상기 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템
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제8항에 있어서,
상기 광경로 조정수단은,
상기 n개의 레이저 출력광 중에서, (1) 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 먼저인 레이저 출력광의 광경로가, 상기 연산된 광경로차 만큼 증가되도록 조정하거나, 또는 (2) 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 나중인 레이저 출력광의 광경로가, 상기 연산된 광경로차 만큼 감소되도록 하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템
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제8항에 있어서,
상기 광경로 조정수단은,
선정된 알고리즘에 기초하여 상기 연산된 광경로차로부터 조정 신호를 생성하고, 상기 생성된 조정 신호가 입력되는 모터의 구동에 의해 상기 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템
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제8항에 있어서,
상기 광경로 조정수단은,
상기 검출된 n개의 레이저 출력광의 입사 시점이 허용 범위 이내에서 일치하도록 동기화하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템
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