요약 |
본 발명은 여러 종류의 순수가스를 가스통에 순차적으로 충전하여 혼합가스를 제조하는 시스템에 있어서, 가스통의 중량을 측정하는 저울; 두 종류 이상의 순수가스를 공급할 수 있는 가스공급장치; 가스통의 주입구에 결합되는 제1포트, 파이프에 의해 가스공급장치와 연결되는 제2포트, 및 제3포트를 구비하고, 일단이 제1포트에 위치하며 타단이 제2포트에 위치하는 제1유로, 및 일단이 제1포트에 위치하며 타단이 제3포트에 위치하는 제2유로를 포함하는 서로 격리된 두 개의 유로가 내부에 형성되는 가스배관용 3-포트형 연결관; 및 제3포트에 결합되어 제2유로를 개폐하는 배출밸브;를 포함하여, 제1유로는 가스공급장치로부터 가스통으로 순수가스를 전달하는 통로로 이용되며, 제2유로는 가스통에 구비되는 개폐밸브 폐쇄시에 제1유로를 통해 가스통으로 공급되는 가스를 외부로 배출시키는 통로로 이용되는 것을 특징으로 하는 중량법을 이용한 혼합가스제조시스템을 제공함으로써, 충전되는 순수가스의 종류를 변경하는 과정에서 가스공급장치와 가스통을 연결하는 파이프 내부공간에 잔류하는 직전에 충전되던 순수가스를 완벽하게 제거할 수 있도록 하며, 따라서 더욱 정밀한 성분비의 혼합가스를 제조할 수 있도록 한다. 혼합가스, 가스통, 가스공급장치, 저울, 가스배관용 3-포트형 연결관
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