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진공 공간 내에 설치되어 공간 내의 진공도를 측정하는 진공계에 있어서, 외부 전원에 의해 가열되어 진공 공간 중의 입자를 가열하는 발열판(1)과 ; 상기 발열판의 일측에 발열판과 수평으로 설치되어 발열판에 의해 가열된 입자의 이동에 의해 변형되는 캔틸레버(2)와 ; 가열된 입자에 의해 변형된 상기 캔틸레버(2)의 변형량으로부터 진공 공간의 압력을 산출하는 컴퓨터(3)를 포함하여 구성되며, 상기 캔틸레버(2)에는 캔틸레버의 변형에 따라 다른 저항값을 갖는 압저항(201)이 설치되고, 상기 압저항(201)의 저항값은 상기 컴퓨터(3)로 전송됨을 특징을 하는 발열판과 캔틸레버를 이용한 진공계
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제 1 항에 있어서, 상기 캔틸레버(2)는 발생된 열을 흡수하여 배출하는 히트싱크(21)에 고정 설치됨을 특징으로 하는 발열판과 캔틸레버를 이용한 진공계
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 캔틸레버(2)의 일면에는 반사막(220)이 더 설치되고, 상기 반사막(220)의 일측에는 상기 반사막(220)에 조사되어 반사되는 빛의 입사광의 각도에 따라 캔틸레버의 변형량을 감지하는 광소자(210)가 더 설치되며, 상기 캔틸레버의 변형에 따라 달라지는 빛의 반사각 정보는 상기 컴퓨터(3)로 전송됨을 특징을 하는 발열판과 캔틸레버를 이용한 진공계
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제 4 항에 있어서, 상기 캔틸레버(2)는 상기 발열판(1)에 의해 가열되어 이동하는 입자가 충돌하는 광폭의 충돌부(2a)와 ; 상기 충돌부(2a)로부터 연장되고 폭이 좁고 길며, 입자의 충돌에 의해 변형이 이루어지는 변형부(2b)로 구성됨을 특징으로 하는 발열판과 캔틸레버를 이용한 진공계
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제 5 항에 있어서, 상기 캔틸레버(2)를 중심으로 발열판(1)의 반대측에는 고진공용 발열판(1a)이 더 설치됨을 특징으로 하는 발열판과 캔틸레버를 이용한 진공계
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제 6 항에 있어서, 상기 고진공용 발열판(1a)과 캔틸레버(2) 사이의 거리보다 발열판(1)과 캔틸레버(2) 사이의 거리가 더 멀게 설치됨을 특징으로 하는 발열판과 캔틸레버를 이용한 진공계
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제 7 항에 있어서, 상기 진공계는 베이스(4)에 고정 설치되어 구성되며, 상기 금속제 베이스(4)는 진공 공간의 외부로 노출되게 설치됨을 특징으로 하는 발열판과 캔틸레버를 이용한 진공계
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제 8 항에 있어서, 상기 반사막(220)은 금으로 형성됨을 특징으로 하는 발열판과 캔틸레버를 이용한 진공계
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