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진공장치(10)에 설치된 피교정 질량유량계(12)를 교정/시험하기 위한 장치에 있어서,
상기 진공장치(10)와 상기 피교정용 질량유량계(12)를 연결하는 관로에 직렬로 설치된 진공밸브(14) 및 피교정 질량유량계 밸브(16)와;
상기 진공밸브(14)와 피교정 질량유량계 밸브(16)를 연결하는 관로에 설치된 연결포트(18)와;
상기 연결포트(18)에 착탈 가능하게 연결된 이동형 질량유량계 교정 장치(100)를 구비하고, 상기 이동형 질량유량계 교정 장치(100)는,
상기 연결포트(18)에 연결된 진공챔버(110)와;
상기 진공챔버(110)와 연결포트(18)를 연결하는 관로에 설치된 챔버밸브(114)와;
상기 챔버밸브(114)와 상기 연결포트(18)를 연결하는 관로에 연결된 기준 질량유량계(116)와;
상기 기준 질량유량계(116)에서 발생된 기체유량을 개폐하는 기준 질량유량계 밸브(118)와;
상기 진공챔버(110)에 연결되어 기체를 배기시키는 배기장치(120)와;
상기 진공챔버(110)와 배기장치(120)의 사이에 연결되어 관로를 개폐하는 게이트밸브(122)와;
상기 진공챔버(110)에 연결되어 진공챔버(110)내로 흐르는 기체의 물리적 특성을 측정하는 측정수단이 포함되어 구성된 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 장치
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제 1항에 있어서,
상기 측정수단은 진공게이지(130)로 구성된 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 장치
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제 1항에 있어서,
상기 측정수단은 잔류기체분석기(140)로 구성된 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 장치
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제 1항에 있어서,
상기 진공챔버(110)내에는 기체를 안정되게 흐르게 하는 오리피스(110a)가 구비된 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 장치
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제 1항에 있어서,
상기 진공챔버(110)에는 진공압을 측정하기 위한 진공게이지(150)가 더 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 장치
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진공장치(10)에 설치된 피교정 질량유량계(12)를 이동없이 교정/시험하기 위한 방법에 있어서,
(a) 상기 진공장치(10)와 상기 피교정 질량유량계(12)를 연결하는 관로를 진공밸브(14)로 폐쇄시키는 단계와;
(b) 상기 피교정 질량유량계(12)측 연결포트(18)에 진공챔버(110)와 기준질량 유량계(116)를 갖는 이동형 질량유량계 교정 장치(100)를 연결하는 단계와;
(c) 상기 연결포트(18)와 연결되는 피교정 질량유량계 밸브(16), 기준 질량유량계 밸브(118) 및 챔버 밸브(114)를 모두 열어 놓는 단계와;
(d) 상기 진공챔버(110)측에 연결된 게이트 밸브(122)를 열고 배기장치(120)를 작동시켜 모든 관로를 초기 진공상태로 형성하는 단계와;
(e) 상기 기준 질량유량계 밸브(118)를 닫고 피교정 질량유량계(12)로부터 원하는 기체의 유량을 발생시켜 진공챔버(110)를 통해 흐르게 한 후 진공챔버(110)에 연결된 진공게이지(150) 또는 잔류기체분석기(140)를 통해 지시값을 기록하는 단계와;
(f) 상기 피교정 질량유량계 밸브(16)를 닫아서 진공챔버(110)와 배관에 있는 잔류기체를 배기장치(120)를 통해서 배출시켜 초기 진공상태를 형성하는 단계와;
(g) 상기 기준 질량유량계용 밸브(118)를 열고 기준 질량유량계(116)로부터 상기 (e)단계의 유량과 동일한 기체 유량을 발생하여 진공챔버(110)를 통해 흐르게 한 후 이온게이지(130) 또는 잔류기체분석기(140)를 통해 지시값을 기록하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 방법
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제 6항에 있어서,
상기 피교정 질량유량계(12)와 기준질량유량계(116)에서 발생되는 유량을 증가시키면서 원하는 최대 유량까지 상기 (e),(f),(g) 단계를 순차적으로 반복하여 피교정 질량유량계(12)와 기준 질량유량계(116)를 비교 교정하는 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 방법
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제 6항에 있어서,
상기 (d)단계와 (e)단계의 사이에 진공게이지(150)로 진공챔버(110)의 압력을 측정하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 방법
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제 6항에 있어서,
상기 진공챔버(110)를 흐르는 기체 유량은 오리피스(110a)를 통해 안정되게 흐르도록 한 것을 특징으로 하는 진공장치에 설치된 질량유량계의 이동없는 교정/시험 방법
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