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상측에 위치하여 하측면 일정 위치에 가압부재가 고정되기 위한 제1 고정 그루브가 형성된 다수의 타겟 고정판; 및
상기 타겟 고정판의 하측에 위치하며, 상측면 일정 위치에 레이저 집속면을 형성하기 위한 제2 고정 그루브가 형성된 다수의 레이저 집속판;
으로 이루어지되, 상기 타겟 고정판과 상기 레이저 집속판 사이에 위치한 극박막 플라스틱 타겟을 상기 타겟 고정판이 하측으로 이동하여, 상기 가압부재와 접촉된 상기 극박막 플라스틱 타겟은 상기 레이저 집속판의 상기 제2 고정 그루브 내측면에 접촉 및 고정되고, 다른 상기 타겟 고정판이 하측으로 이동하여, 상기 가압부재와 접촉된 상기 극박막 플라스틱 타겟은 상기 레이저 집속판의 상기 제2 고정 그루브 내측면에 접촉 및 고정되어 상기 극박막 플라스틱 타겟을 상기 타겟 고정판 및 상기 레이저 집속판 사이에서 팽팽한 상태를 유지하도록 이루어진 레이저 유도 입자 발생을 위한 극박막 플라스틱 타겟용 그루브가 형성된 타겟 마운트
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청구항 1에 있어서,
상기 타겟 고정판은 금속판인 것을 특징으로 하는 레이저 유도 입자 발생을 위한 극박막 플라스틱 타겟용 그루브가 형성된 타겟 마운트
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청구항 1에 있어서,
상기 레이저 집속판은 금속판인 것을 특징으로 하는 레이저 유도 입자 발생을 위한 극박막 플라스틱 타겟용 그루브가 형성된 타겟 마운트
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청구항 1에 있어서,
상기 가압부재는 원기둥 형상인 것을 특징으로 하는 레이저 유도 입자 발생을 위한 극박막 플라스틱 타겟용 그루브가 형성된 타겟 마운트
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상측에 위치하여 하측면 일정 위치에 가압부재가 고정되기 위한 제1 고정 그루브가 형성된 다수의 타겟 고정판과, 상기 타겟 고정판의 하측에 위치하며, 상측면 일정 위치에 레이저 집속면을 형성하기 위한 제2 고정 그루브가 형성된 다수의 레이저 집속판으로 이루어지는 레이저 유도 입자 발생을 위한 극박막 플라스틱 타겟용 그루브가 형성된 타겟 마운트의 극박막 플라스틱 타겟 고정 방법에 있어서,
상기 타겟 고정판과 상기 레이저 집속판 사이에 위치한 극박막 플라스틱 타겟을 상기 타겟 고정판이 하측으로 이동하여, 상기 가압부재와 접촉된 상기 극박막 플라스틱 타겟은 상기 레이저 집속판의 상기 제2 고정 그루브 내측면에 접촉 및 고정되는 단계; 및
다른 상기 타겟 고정판이 하측으로 이동하여, 상기 가압부재와 접촉된 상기 극박막 플라스틱 타겟은 상기 레이저 집속판의 상기 제2 고정 그루브 내측면에 접촉 및 고정되는 단계로 이루어져, 상기 극박막 플라스틱 타겟을 상기 타겟 고정판 및 상기 레이저 집속판 사이에서 팽팽한 상태를 유지하도록 하는 레이저 유도 입자 발생을 위한 극박막 플라스틱 타겟용 그루브가 형성된 타겟 마운트의 극박막 플라스틱 타겟 고정 방법
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